Occasion TEGAL 901 #9250123 à vendre en France

TEGAL 901
Fabricant
TEGAL
Modèle
901
ID: 9250123
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1990
Nitride etcher, 6" Missing parts 1990 vintage.
TEGAL 901 est un graveur/asher, conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de délivrer des températures allant jusqu'à 550 ° C pour graver ou asher les matériaux. De plus, 901 dispose d'un régulateur de température intégré qui peut réguler les températures entre la température ambiante et le maximum de 550 ° C Ceci assure une répartition uniforme de la température et évite tout échauffement excessif du substrat. TEGAL 901 est équipé de plusieurs fonctionnalités avancées, conçues pour optimiser les performances de gravure/cendrage. Il s'agit notamment du bombardement de la RFF (Radio Frequency Field), qui contribue à assurer l'uniformité de l'échantillon. En outre, 901 dispose de capacités de vide, permettant d'améliorer la vitesse de traitement, et des niveaux de précision et de contrôle plus élevés. TEGAL 901 utilise une combinaison de techniques de gravure humide et sèche, utilisant une solution de gravure à l'acide fluorhydrique et à l'oxyde tamponné. Cette combinaison permet d'atteindre plusieurs niveaux de gravure, et des niveaux plus élevés de précision de gravure. De plus, la 901 utilise un procédé de gravure à sec qui utilise un gaz de gravure, tel que le trifluorure de chlore, ce qui minimise les dommages de surface et augmente l'efficacité de gravure. TEGAL 901 dispose de plusieurs dispositifs de sécurité, conçus pour protéger les opérateurs contre les dommages. Ces caractéristiques comprennent une chambre de traitement fermée, qui est équipée de capteurs qui s'activent si des niveaux de pression, de température ou de concentration de gaz dangereux sont détectés. De plus, la 901 est équipée d'un système de coupure de température et de pression pour éteindre automatiquement le traitement si des conditions dangereuses sont détectées. En conclusion, TEGAL 901 est un graveur/asher de haute qualité, conçu spécifiquement pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ses caractéristiques avancées, telles que le bombardement RFF et la technique de gravure à sec, offrent des performances optimisées, tandis que ses caractéristiques de sécurité protègent les opérateurs contre les dommages. 901 est un outil fiable et efficace pour la gravure de matériaux avec des résultats précis et contrôlés.
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