Occasion TEGAL 901 #9408120 à vendre en France

TEGAL 901 est un équipement automatisé de production de plaquettes qui utilise une technologie de gravure avancée pour produire des plaquettes personnalisées avec précision. Le système est capable de réaliser une production de plaquettes haute résolution et haute précision sur une variété de matériaux, y compris le silicium, l'arséniure de gallium et les matériaux similaires au diamant. Le procédé de gravure est conçu pour réduire les dommages thermiques et préserver la qualité des matériaux traités. L'unité utilise des temps de gravure variables et une recette de gravure élastiquement adaptée avancée pour un contrôle de processus supérieur, permettant un débit et des rendements de production supérieurs. 901 est équipé d'une armoire à gaz intégrée qui dispense les vapeurs acides nécessaires au processus de gravure. La machine est capable d'effectuer une variété de gravures humides ainsi que des gravures sèches. Les gravures humides comprennent la gravure sélective, la gravure de phosphorescence chaude et le grenaillage humide. Ces procédés offrent un excellent contrôle des procédés, une uniformité et des rendements plus élevés. Les gravures sèches sur TEGAL 901 sont conçues pour réduire le risque de contamination dans le processus de gravure. L'outil utilise le procédé ICP-RIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etch) qui fonctionne à des températures plus élevées pour promouvoir l'uniformité et créer un meilleur profil dans la surface gravée. L'actif offre également un procédé de gravure MEMS unique, optimisé pour les produits Micro Electrical Mechanical Systems. 901 est spécifiquement conçu pour fournir un modèle de gravure capable de produire des produits à rendement plus élevé à un coût inférieur à celui de ses concurrents. Le contrôle rigoureux des processus, l'uniformité et la précision de l'équipement permettent d'améliorer la qualité de la production et les rendements pour divers types de produits. L'armoire à gaz intégrée permet un processus de gravure plus rapide et plus efficace et ses recettes de gravure évoluées assorties élastiquement offrent un contrôle et des rendements supérieurs.