Occasion TEGAL 901ACS #9395520 à vendre en France

TEGAL 901ACS gravure/cendres est un équipement de gravure avancé avec des capacités supérieures. Il est doté d'une fonction d'auto-confinement qui réduit le risque de contamination et d'un procédé par lots monobloc qui permet de réaliser des économies de débit et de coûts plus importantes. Le système a une conception mécanique et électrique qui fournit des opérations précises et cohérentes, et il dispose d'un contrôleur de processus avec une interface conviviale qui permet un accès facile aux paramètres et paramètres de l'unité. 901ACS etcher est livré de série avec deux gaz de procédé : SF6 et chlore. Le gaz de chlore est utilisé pour graver les plaquettes de silicium tandis que le gaz SF6 est utilisé pour éliminer les contaminants de surface qui sont créés lors de la gravure. En outre, la machine peut traiter une large gamme de tailles de plaquettes allant de 100mm à 300mm. La taille de la plaquette est détectée automatiquement et les paramètres du processus sont ajustés en conséquence. TEGAL 901ACS dispose d'une grande chambre d'une capacité allant jusqu'à 12 plaquettes pouvant être traitées en même temps. L'outil a également une fonction de refroidissement automatique, assurant que l'environnement de la chambre reste à une température sûre. Cela aide également à garder les paramètres du processus cohérents. 901ACS utilise une alimentation en courant alternatif à double fréquence pour un contrôle précis du processus, permettant la reproductibilité des résultats. En outre, l'actif est équipé de plusieurs dispositifs de sécurité tels que la surtension, la protection contre les surintensités et la détection au sol. Le modèle a également une conception modulaire qui le rend facile à mettre à niveau et à étendre les capacités de l'équipement. TEGAL 901 ACS etcher/ashers dispose d'une variété d'options de processus qui sont adaptés aux exigences de nombreuses applications. Sa conception robuste le rend adapté à une production à haut volume et sa facilité d'utilisation le rend idéal pour les laboratoires à faible volume. Sa précision et sa flexibilité en font la solution parfaite pour les applications nécessitant des paramètres de gravure précis.