Occasion TEGAL 901B #9262409 à vendre en France

TEGAL 901B
Fabricant
TEGAL
Modèle
901B
ID: 9262409
Etcher Gases: Nitrogen, Oxygen, Sulfur hexafluoride, Fluoroform.
TEGAL 901B etcher/asher est un équipement lourd de haute performance qui est conçu pour fournir des résultats de traitement supérieurs pour une variété d'applications à haut volume. Il est équipé de caractéristiques avancées qui offrent des performances supérieures et des résultats supérieurs pour la gravure et la cueillette de substrats de haute densité et de volume élevé. 901B offre des capacités de traitement avancées avec sa chambre en alliage de quartz de 7 pouces (18 cm) d'épaisseur et ses graveurs de surface en alliage double de 10 pouces (25 cm) qui sont conçus pour traiter de grandes surfaces jusqu'à 7 x 8,5 pouces (18 x 22 cm). Il comprend également une conception de filtre plus optique haute résolution qui donne aux utilisateurs des résolutions plus élevées allant jusqu'à 1 micron (0,001 mm). La conception robuste de TEGAL 901B offre une grande vitesse jusqu'à 38 pi/min (67,3 cm/s) et assure qu'il est le système idéal pour le traitement de grands substrats avec la célèbre technologie gravure-film. Il dispose également de la technologie de calcul distribué (DCT) à bord qui aide à maximiser la vitesse et l'efficacité de gravure et aussi la compatibilité des plaquettes à filtrer ou des filtres d'enceinte. 901B obtient des résultats de gravure et d'ashing supérieurs en raison de sa technologie avancée de résonance cyclotron électronique (ECR) plasma de gaz. Il est capable de graver et d'aspirer avec des modes gaz réactif et gaz non réactif. De plus, il peut également être utilisé pour le recuit et la gravure par pulvérisation grâce à son option ICR (Ion Cyclotron Resonance) de précision. TEGAL 901B comprend une gamme de fonctionnalités conviviales, telles qu'une interface utilisateur intuitive, un contrôle d'accès à plusieurs niveaux et une option pour l'intégration des serveurs du centre de contrôle à distance (CCR) afin d'assurer une performance, une qualité et une sécurité uniformes. Il est également livré avec une unité de contrôle PC compatible IBM et une machine de métrologie visuelle EDX (à rayons X dispersants d'électrons) pour assurer la précision et la précision des résultats de gravure et d'ashing. Dans l'ensemble, 901B est un outil de graveur/asher fiable et polyvalent qui offre des résultats de gravure, de cendrage et de recuit supérieurs de grands substrats. Ses fonctionnalités avancées, associées à la flexibilité et à l'interface utilisateur intuitive, en font un atout idéal pour les applications de production à haut volume, ainsi que pour les processus de recherche et de développement.
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