Occasion TEGAL 901e /903e TTW, #12388 à vendre en France

TEGAL 901e/903e Fine Film Wafer (TFW) etcher/asher est un système de haute performance conçu pour le contrôle avancé des processus et le débit supérieur des plaquettes. Il est capable d'une grande vitesse et un débit de production bien géré, assurant un processus sans faille pour des structures critiques. Ce graveur/asher polyvalent intègre une large gamme de variables de procédé, telles que les précurseurs de gravure, les gaz et les moniteurs de pression, pour un foreur hautement flexible, fiable et reproductible. La technologie de micro-traitement SF 1000 de TEGAL 901e/903e est conçue pour soutenir les progrès de la fabrication avec une adaptabilité de précision. Le graveur automatique à deux étages est conçu pour offrir rapidement et efficacement une précision de gravure supérieure, une uniformité et un rendement global. Le bord de précision répétable maintient le masquage presque parfait, ce qui réduit les dommages sur le substrat. Les capacités intégrées de profilage latéral permettent un contrôle intuitif et personnalisé des processus pour atteindre les caractéristiques de gravure et les résultats souhaités. TEGAL 901e/903e offre une capacité de déploiement facile à utiliser. L'interface utilisateur intuitive permet un démarrage et un arrêt simplifiés avec des recettes et des étapes de processus programmables. Pour garantir une qualité constante, la fonction de suivi des processus offre une traçabilité étape par étape précise et pratique. L'analyse des données en direct permet à un opérateur d'ajuster les paramètres en fonction des caractéristiques et des réponses de la plaquette. Pour faciliter la flexibilité et la polyvalence, le 901e/903e est compatible avec une gamme de précurseurs de procédé TEGAL et de gaz compatibles THP, y compris le chlore, le trifluorure d'azote et l'air enrichi en oxygène. Le gestionnaire de plaquettes TF 1440 offre des capacités de manipulation robotique avancées et est conforme aux conservateurs de procédés TEGAL (Suffix « T »). TEGAL 901e/903e TFW etcher/asher est idéal pour la production à haut volume dans l'industrie des semi-conducteurs, fournissant un nettoyage de surface fiable et précis et la gravure des trous de contact, ventilateurs et dépôts métalliques. Ce graveur/asher a le potentiel de fournir un débit supérieur avec une qualité de produit sans compromis.