Occasion TEGAL 901e #293594314 à vendre en France

TEGAL 901e est un graveur conçu pour produire des dispositifs semi-conducteurs. Il est capable de fonctionner dans des régimes de gravure simple ou double face qui peuvent être automatisés ou contrôlés manuellement. TEGAL 901 E utilise une plaquette enduite de résine pour être gravée par un plasma de molécules de gaz fluorocarbonés. Ce plasma est généré par la combinaison de l'énergie RF, Argon et Oxygène qui décompose les molécules fluorocarbonées en petites molécules qui agissent comme agents de gravure à la surface des plaquettes. Ceci est avantageux car la réaction peut être contrôlée avec précision permettant de graver des motifs avec plus de détails que ce qui est possible avec des gravures humides. L'équipement comprend également une chambre à vide où le mélange gazeux est contenu et une source d'énergie RF et DC. 901e offre 13 niveaux de puissance différents qui permettent un réglage optimal du processus. Il dispose également de trois chronomètres de processus qui permettent de contrôler les temps de processus afin d'assurer une profondeur de gravure spécifique. 901 E peut graver avec une uniformité de 2-3 % sur la plaquette et a la capacité de graver des motifs jusqu'à 5 microns. Le système peut également accueillir des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. L'unité elle-même est relativement économique par rapport à des systèmes similaires offrant des capacités similaires et TEGAL 901e est utilisé dans de nombreux laboratoires de semi-conducteurs à travers le monde. La maintenance de TEGAL 901 E est minimale et la machine est conçue pour une utilisation et un fonctionnement simples. Il peut être utilisé sur la plupart des types de substrats dont le silicium, l'aluminium et le titane. 901e est polyvalent et fiable, ce qui en fait un choix approprié pour ceux qui recherchent un graveur de haute qualité.