Occasion TEGAL 901e #293595381 à vendre en France

TEGAL 901e Etch/Asher Equipment est un système de traitement parallèle polyvalent conçu pour la fabrication et la recherche et le développement basé sur la technologie de gravure/asher. Il est équipé de 10 062 zones de traitement indépendantes, permettant aux utilisateurs de profiter de la technologie de traitement parallèle. Utilisant une approche multi-étapes, multi-gaz, TEGAL 901 E peut être utilisé pour une variété d'applications de gravure/asher incluant dépôt, gravure métallique, enlèvement d'oxyde, masquage et gravure sélective. 901e utilise une chambre en céramique résistant à la corrosion et pouvant être chauffée à des températures allant jusqu'à 650 ° C Il est construit à partir de superalliages de nickel avancés pour optimiser les performances thermiques et le contrôle moteur. Ceci est couplé à une conception de chambre de processus à deux zones, chaque zone étant isolée indépendamment de l'autre par un soufflet étanche aux gaz. Ceci assure des conditions de traitement cohérentes entre les deux zones. L'unité est contrôlée par une console sophistiquée contrôlée par ordinateur. Cela facilite le séquençage automatisé de paramètres de processus tels que le pré-nettoyage du substrat, le contrôle de la température et de la puissance RF, le choix de la source ionisée, la pression et les temps de cycle gravure/asher. 901 E a également la capacité de fixer plusieurs équipements périphériques supplémentaires tels que des moniteurs de matières organiques volatiles, des lames de waferhandling, et une jauge de vide. Cette machine Etch/Asher peut être utilisée avec une large gamme de gaz, y compris Cl2, BCl3, SF6 et NF3. L'outil est facilement contrôlé et entretenu via la console pilotée par ordinateur et sa multitude d'équipements périphériques. TEGAL 901e est un atout incroyablement puissant et fiable pour les applications gravure/asher, avec la flexibilité à appliquer à plusieurs procédés chimiques. Le chauffage à chambre en céramique fiable et les capacités à deux zones du modèle le rendent idéal pour les applications dans la production de puces, la fabrication de cellules solaires et les industries photovoltaïques.