Occasion TEGAL 901e #293616017 à vendre en France

TEGAL 901e
Fabricant
TEGAL
Modèle
901e
ID: 293616017
Plasma etchers.
TEGAL 901e est un graveur/asher avancé conçu pour être utilisé dans une grande variété de procédés électrochimiques et connexes. Il est doté d'un design multi-chambres capable de loger de grandes prises d'outils. Chacune des quatre chambres est commandée indépendamment à bord, ce qui permet de graver et d'aspirer en même temps différents substrats et matériaux dans chaque chambre. TEGAL 901 E est équipé d'un équipement de régulation de température à trois zones, vous permettant d'ajuster les températures dans la chambre à outils, la chambre de livraison des précurseurs solides et la chambre de gravure séparément. La température est réglée à une précision de +/- 1 ° C, ce qui permet un contrôle précis des paramètres du processus lors de la gravure ou de la cueillette. 901e comprend également un système de distribution de mélange de cinq gaz, vous permettant d'ajuster le niveau d'oxygène, de chlore, d'argon, d'azote et de dioxyde de soufre dans une plage précise. La puissante 901 E utilise une unité d'acquisition de données en temps réel pour transférer des données de traitement vers un PC ou une autre interface informatique. Ces informations peuvent être utilisées pour modifier les processus et surveiller le rendement. TEGAL 901e est capable de modeler avec précision avec des paramètres de vitesse et d'espacement réglables. Le débit de gravure sélectable, la puissance laser et la machine de refroidissement assurent l'élimination efficace du matériau indésirable. TEGAL 901 E dispose également d'une fonction de balayage à grande vitesse, lui permettant d'effectuer une gravure/cueillette pour des épaisseurs de substrat allant de 250 µm à 10 mm. 901e dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive et d'un panneau LCD intégré. Il comprend plusieurs caractéristiques de sécurité, telles qu'un outil de contrôle automatique de la pression et des interrupteurs de coupure thermique. Le logiciel de contrôle intuitif et facile à utiliser permet aux utilisateurs d'accéder et d'enregistrer facilement les recettes de processus et les données de profil. 901 E est un outil de gravure et d'ashing avancé et puissant, parfait pour le prototypage électronique et électrochimique et la fabrication.
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