Occasion TEGAL 901e #293654398 à vendre en France

TEGAL 901e est un graveur d'ions réactif capable de graver et d'aspirer. C'est un outil de procédé semi-conducteur de pointe, doté d'un écran plat, d'une interface utilisateur intuitive et d'un fonctionnement à haut débit de grande capacité. Utilisant une technologie avancée de gravure par plasma, TEGAL 901 E fournit une gravure précise et cohérente des photorésists et d'autres matériaux. 901e etcher/asher a trois chambres - chambres de gravure double et une chambre asher unique. La chambre de gravure sert à graver un matériau, tandis que la chambre asher permet d'éliminer les résidus et les débris de la surface. Ce produit est alimenté par une alimentation en courant continu, et dispose d'un équipement haute performance, entièrement contrôlé par ordinateur, et à base de microcontrôleurs. La 901 E utilise un système à vide élevé pour fournir une excellente simplicité de fonctionnement, un contrôle précis des procédés et des plaquettes sans contamination. TEGAL 901e etcher/asher comprend un écran tactile LCD haute précision et couleur pour effectuer les réglages et réglages de gravure et d'ashing. Les paramètres sont réglables pour les processus de gravure et de cueillette, et comprennent la vitesse, la température, la pression et la composition du gaz. Tous les paramètres et paramètres peuvent être configurés et stockés, permettant une configuration rapide et un fonctionnement facile. Pour le procédé de gravure, TEGAL 901 E présente deux sources internes de pulvérisation magnétron déséquilibrées, assurant un dépôt uniforme du matériau sur la plaquette. Pour le processus de cendrage, deux chambres de cendrier verrouillées à la charge sont prévues qui utilisent à la fois un cendrier à plasma froid et un cendrier à plasma chaud. L'alimentation RF de la 901e dispose également d'une unité entièrement pilotée par ordinateur, permettant un contrôle précis du processus de gravure et de cueillette. 901 E etcher/asher est équipé d'une machine de commande intégrée, permettant de contrôler jusqu'à 16 plaquettes à la fois. Les plaquettes sont logées sur une seule ceinture, permettant le traitement par lots de plusieurs plaquettes. TEGAL 901e est également équipé d'un outil de chargement/récupération rapide d'échantillons, permettant une productivité et un débit élevés. TEGAL 901 E etcher/asher est une solution de gravure et d'ashing efficace, précise et économique pour tout environnement de production.