Occasion TEGAL 901e #293723711 à vendre en France

TEGAL 901e est une plate-forme pour la gravure diélectrique simple-wafer avancée et Asher. L'équipement est conçu pour traiter des plaquettes de 200mm et est construit pour supporter le processus humide et sec. L'etcher/asher est un système modulaire qui permet un contrôle rapide et précis du processus de gravure et l'uniformité de la température dans les configurations horizontales et verticales. L'unité dispose d'une technologie de contrôle des processus intelligents intégrée qui permet un débogage facile et des temps de réaction rapides. Comme graveur, TEGAL 901 E s'appuie sur les mêmes principes que ses prédécesseurs pour fournir un débit plus élevé et un meilleur contrôle des processus. L'graveur est également capable de produire des gravures à haut rapport d'aspect avec une précision allant jusqu'à +/- 0,005 um ainsi que minimiser les dommages sur le côté supérieur de la plaquette. Comme asher, 901e offre un contrôle avancé de la chimie du plasma pour minimiser les microparticules et les particules. De plus, la machine utilise une technologie de contrôle de faisceau améliorée pour offrir une gravure uniforme sur toute la surface de la plaquette. L'outil dispose également d'un filtre immergé durable qui capture efficacement les particules et minimise la contamination. 901 E dispose d'une douche de protection de flanc dédiée et d'une plaque de douche chauffée qui permet une gravure et un cendrage sûrs et fiables. De plus, le modèle comprend un port FX-Solid qui permet des mesures SEG in situ lors d'une course de plaquettes. TEGAL 901e est équipé d'une interface tactile innovante qui permet à l'utilisateur de configurer et de surveiller rapidement et facilement le processus. L'équipement offre également une traçabilité post-traitement et un système intégré de gestion des médias qui permet une surveillance efficace des processus et la répétabilité des CD. Pour fournir un contrôle chimique précis, l'unité abrite un circuit d'automatisation sophistiqué qui surveille et maintient en permanence les paramètres du processus. En outre, le protocole de communication de données de TEGAL 901 E permet une intégration facile avec des appareils externes et des logiciels standard de l'industrie. 901e est construit pour répondre aux normes de sécurité les plus élevées, ce qui en fait un choix idéal pour l'environnement de production. La construction robuste de la machine garantit un fonctionnement fiable et sûr, ce qui en fait une solution de graveur/asher fiable pour le traitement avancé des plaquettes.