Occasion TEGAL 901e #70079 à vendre en France
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ID: 70079
Taille de la plaquette: 4" - 6"
plasma etcher, 4"-6" capability
Polysilicon /Silicon Nitride Plasma Etcher
Cassette to cassette
13.56 MHz ENI RF Generator, 1000W
Microprocessor control
Non-friction spatula wafer transport.
TEGAL 901e etcher/asher est un bot très avancé qui est capable de réaliser des processus de gravure et de cueillette de haute précision et de grand volume avec une précision inégalée. TEGAL 901 E est un graveur/asher personnalisable, particulièrement adapté à diverses applications avancées dans l'industrie des semi-conducteurs. 901e dispose d'un système de livraison de produits chimiques de pointe qui fournit des volumes précis de produits chimiques de gravure et de cendrage rapidement et précisément à chaque fois. Cela garantit que chaque processus de gravure et d'ashing du substrat est effectué rapidement et avec précision dans les limites des spécifications définies. 901 E dispose également d'un système d'étage avancé qui positionne automatiquement la plaquette pour un meilleur débit. En outre, il est capable de contrôler avec précision la résolution et la définition des processus de gravure et de cueillette, permettant à l'utilisateur de tirer le meilleur parti de leurs substrats, assurant ainsi les processus et résultats les plus précis. TEGAL 901e est construit sur une plate-forme logicielle entièrement intégrée, ce qui la rend simple à intégrer dans les processus existants, et il est équipé d'une technologie robuste de contrôle des processus qui permet de personnaliser les processus complexes de gravure et d'ashing selon des spécifications exigeantes. Il est également capable de contrôler automatiquement les paramètres du processus de gravure et d'ashing pour s'assurer que le processus se déroule sans accrochage. Une des caractéristiques les plus intéressantes de TEGAL 901 E est sa capacité à graver et à graver avec une large gamme d'épaisseurs de matériaux. Ceci est réalisé grâce à une option unique de gravure multi-étapes, où la gravure peut se produire à n'importe quelle épaisseur de plaquette, permettant à l'utilisateur de tirer le meilleur parti de leurs substrats. L'utilisateur a également accès à une variété d'options de processus avancées et d'outils de personnalisation, ce qui lui permet de peaufiner ses paramètres de gravure et d'ashing. La 901e dispose également d'une variété de capteurs qui permettent à l'utilisateur de surveiller les étapes du processus, les paramètres du processus de suivi et les résultats du processus de gravure et d'ashing. Dans l'ensemble, 901 E etcher/asher est un bot de gravure et ashing avancé, puissant et fiable qui est parfait pour une variété d'applications de semi-conducteurs. Son système avancé de chimie et d'étape, son contrôle précis des procédés et sa large gamme d'options de gravure et de cendrage permettent à l'utilisateur de tirer le meilleur parti de ses substrats et procédés.
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