Occasion TEGAL 901e #70080 à vendre en France

TEGAL 901e est un graveur avancé développé spécifiquement pour les applications semi-conductrices. Il s'agit d'un équipement « autonome », composé d'une conception rotative de chambre extérieure et intérieure qui fournit des résultats de traitement uniformes. Les caractéristiques comprennent une grande capacité de manutention des plaquettes pouvant atteindre trois unités, des résultats de gravure uniformes et une propreté supérieure. Le système dispose d'un contrôleur programmable intégré avec des fonctionnalités faciles à utiliser et des affichages interactifs dynamiques. Une interface utilisateur graphique intuitive est disponible pour personnaliser les paramètres et suivre l'avancement de chaque processus. Le logiciel permet également la télécommande via une liaison de communication série directe, ou via le protocole de télécommande populaire (RCP) développé spécifiquement par TEGAL Corporation. TEGAL 901 E utilise des sources de plasma directes, indirectes ou combinées pour effectuer une gravure ou un traitement de surface sur des plaquettes semi-conductrices. L'unité utilise une unité de contrôle des gaz (GCU) pour surveiller et contrôler les gaz utilisés dans le processus de gravure. L'UCG est programmée avec un profil de concentration de gaz capable de supporter jusqu'à 16 étapes de processus. Les plaquettes sont placées horizontalement dans la machine puis transportées automatiquement dans le sens horaire ou dans le sens anti-horaire à une vitesse programmable. Une source de plasma isolée est disponible pour chaque section de plaquette de l'outil, assurant un bombardement ionique plus contrôlé de la plaquette, donnant des résultats de gravure supérieurs. La conception avancée de la chambre de gravure 901e permet d'obtenir une cohérence de procédé supérieure, une contamination minimale des particules et un débit maximal. Les chambres de gravure sont contrôlées sous pression avec une température constante, créant un environnement de gravure uniforme. 901 E actif offre une variété de processus et de recettes répétables qui peuvent être stockés pour une utilisation future. La commande TEGAL 901e est basée sur un modèle de commande de mouvement à trois axes avec commande intégrale de boucle PID, offrant un environnement de gravure optimal. L'équipement dispose également d'une option de gravure oscillante qui peut être utilisée pour améliorer l'uniformité sur les pièces à géométries circulaires. TEGAL 901 E est le système idéal pour la gravure et le traitement de surface des plaquettes semi-conductrices. Son interface graphique conviviale, sa technologie de gravure avancée et sa flexibilité sont idéales pour la production de dispositifs semi-conducteurs hautement fiables.