Occasion TEGAL 901e #70082 à vendre en France

TEGAL 901e est un graveur/asher de pointe conçu pour être utilisé dans un large éventail d'industries telles que la microélectronique, la fabrication d'instruments médicaux, les sciences de la vie et la nanotechnologie. Il offre une large gamme de caractéristiques pour la gravure à haut débit et précise, permettant la fabrication de micro et nano dispositifs et circuits. TEGAL 901 E est basé sur la technologie avancée de lithographie par faisceau d'électrons, qui offre précision et haut débit. Il peut réaliser une gravure ultra fine pour créer des motifs et des caractéristiques complexes sur un large éventail de substrats et de matériaux. L'équipement est livré avec un étage motorisé et un microscope optique pour un alignement précis des substrats et un système de hucking sous vide pour le positionnement du substrat et la profondeur de gravure. Avec cela, l'appareil peut graver des motifs même minutes jusqu'au niveau du nanomètre. 901e utilise un canon à électrons en arséniure de gallium qui peut générer une large gamme de courants de faisceau allant de 100pA/V à 10,000pA/V à des tensions d'accélération allant de 0-30KV. Cela permet de créer des largeurs de lignes fines et d'autres caractéristiques complexes qui sont nécessaires pour la fabrication de micro et nano dispositifs modernes. L'unité dispose également d'un logiciel intégré pour ajuster la luminosité et la focalisation du faisceau, ainsi que pour l'alignement et le marquage. Il est également entièrement compatible avec la plupart des chambres de processus standard et peut être utilisé dans une grande variété d'applications. La machine est livrée avec une plaque porte-plaquettes de 12 « et est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 8 » de diamètre. 901 E comprend également une gamme de mécanismes de protection de sécurité pour assurer la sécurité du personnel et de l'outil, tels qu'un système d'interception, un modèle d'avertissement de lampe halogène, un commutateur E-Stop, un commutateur de multiplexage et des circuits de refroidissement de l'eau avec des fonctions de sécurité. Dans l'ensemble, TEGAL 901e est un graveur/asher puissant et polyvalent, parfaitement adapté aux applications modernes de fabrication de micro et nano appareils. Il est facile à manipuler, avec une interface logicielle intuitive, une gamme de caractéristiques de sécurité, et des capacités de précision et de débit pour la fabrication d'appareils complexes.