Occasion TEGAL 901e #70083 à vendre en France

Fabricant
TEGAL
Modèle
901e
ID: 70083
Taille de la plaquette: 4" - 6"
Plasma etcher, 4"-6" capability Photoresisty asher Cassette to cassette 13.56 MHz ENI RF Generator, 1000W Microprocessor control Non-friction spatula wafer transport.
TEGAL 901e est un équipement de gravure et d'asher plasma haut de gamme conçu pour les procédés modernes de microfabrication. Ce système semi-automatisé est doté d'un design innovant et adapté à un large éventail de domaines d'application, ce qui en fait un choix idéal pour les chercheurs, les ingénieurs et les développeurs de processus industriels. TEGAL 901 E offre un certain nombre d'avantages par rapport aux techniques de gravure manuelle et de cendrage, tels que des vitesses de gravure plasmatiques rapides, un excellent contrôle des processus et un contrôle de précision de la profondeur de gravure linéaire ratiométrique. La grande surface de travail de 901e 10 « x 8 » permet un traitement rapide et à haut débit de grandes tailles de substrat. Son puissant groupe électrogène RF permet à l'utilisateur de contrôler avec précision la puissance fournie. La vaste gamme de recettes de gravure peut être ajustée en changeant les paramètres du processus, tels que le débit de gaz, la pression, la température de la chambre, et d'autres variables, permettant d'ajuster les paramètres et de reproduire des résultats de haute précision. La conception unique de la chambre est conçue pour maximiser l'efficacité du processus et minimiser la contamination, ce qui se traduit par un taux de particules extrêmement faible et une uniformité optimale. 901 E permet également d'accéder à des capacités de gravure et de cueillette avancées, telles que la gravure/cueillette directionnelle et anisotrope, des structures à haut rapport d'aspect, ainsi qu'une meilleure sélectivité pour différents matériaux. La machine est conçue pour un contrôle précis de la profondeur et de la largeur des gravures, permettant aux chercheurs de mener des expériences de gravure, de caractérisation et de développement des processus. TEGAL 901e dispose d'opérations sur écran tactile, permettant un contrôle intuitif de l'utilisateur, permettant la création de recette simple, la surveillance de la vitesse de gravure et l'analyse de processus. Pour des applications plus complexes, TEGAL 901 E est équipé d'un ensemble complet de systèmes de données embarqués, fournissant aux utilisateurs une rétroaction de processus détaillée. La conception ergonomique de l'outil permet un nettoyage facile, un entretien de routine et une production prolongée. En conclusion, la 901e est un excellent choix pour ceux qui recherchent une gravure de plasma fiable et hautement capable et un atout asher. Il est construit avec le plus haut niveau de précision et d'attention au détail pour assurer des performances cohérentes et fiables. 901 E offre un excellent débit, précision et contrôle, ce qui en fait un choix idéal pour les processus de microfabrication.
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