Occasion TEGAL 901e #9009940 à vendre en France

TEGAL 901e est un graveur/asher conçu pour produire un haut niveau de performance et de flexibilité tout en fournissant des processus de gravure et d'ashing fiables et précis. Cet etcher peut être utilisé en combinaison avec des substrats compatibles tels que le matériau semi-conducteur III-V et les matériaux MEMS. TEGAL 901 E offre des capacités de traitement supérieures dans tous les environnements, y compris les environnements à haute dépression, basse pression RF et basse pression oxyhydrogène. 901e est construit à partir d'une chambre robuste, 100 % en acier inoxydable et comprend une enceinte de sécurité avec des chauffages et des capteurs EHD. Cela permet des processus plasmatiques sur une large gamme de températures et de pressions. L'etcher dispose de fenêtres à quartz, permettant des observations in situ. Un bouclier indépendant contrôlé et chauffé élimine la contamination et la contamination croisée des principaux composants des gravures/cendres. 901 E peut être utilisé à la fois en mode manuel et en mode entièrement automatisé. Pour un fonctionnement manuel, l'utilisateur peut contrôler de manière indépendante et précise la pression et la puissance RF lors de la gravure. De plus, l'etcher possède une fonction séquentielle en quatre dimensions, qui permet à l'utilisateur de définir une séquence de paramètres de gravure et de cueillette et de les répéter plusieurs fois avec un temps de réinitialisation minimal. Cette fonctionnalité permet de maximiser la répétabilité et la productivité des processus. Le système complet de diagnostic et de contrôle permet aux utilisateurs d'afficher les paramètres de processus, de surveiller et de contrôler plusieurs paramètres de traitement, ainsi que de stocker, rappeler et transférer des recettes. Le système offre également une journalisation avancée des données pour suivre l'historique des processus, afin que les utilisateurs puissent diagnostiquer efficacement les problèmes de processus. TEGAL 901e est conçu avec une variété de méthodes de manutention de plaquettes, du chargement manuel de plaquettes, au transfert de plaquettes compatible cassette, au verrouillage de charge isolé, chambre de charge et chambre de déchargement. La chambre de verrouillage de charge, par exemple, permet un contrôle indépendant de la pression atmosphérique pour la gravure et le cendrage sans particules. Combinant toutes ces caractéristiques, TEGAL 901 E offre une polyvalence et des performances supérieures pour les processus de gravure et d'ashing pour les applications de recherche et de production. Il offre un haut débit, répétabilité et fiabilité dans la production de composants de haute qualité.