Occasion TEGAL 901e #9016256 à vendre en France

TEGAL 901e est un graveur/asher haute performance pour le traitement de la résine photosensible de substrats de grande surface tels que Si, SiO2 et GaAs. Cette combinaison graveur/asher est basée sur une source de plasma à injection latérale à basse pression très efficace qui utilise un résonant qui réduit la consommation de gaz de gravure, minimisant ainsi la contamination et diminuant le temps nécessaire au traitement des plaquettes. TEGAL 901 E dispose d'une large gamme de paramètres plasmatiques, tels que les réglages de pression, de débit de gaz et de puissance RF, qui permettent aux utilisateurs d'optimiser leurs paramètres de processus et d'augmenter la vitesse de gravure et la qualité de leurs produits. Le graveur/asher offre également une excellente uniformité, ainsi qu'une gravure précise et de haute qualité. De plus, la 901e est capable de traitements photorésistants qui ne peuvent être réalisés à l'aide d'agents chimiques humides classiques. 901 E est équipé de diagnostics intégrés, qui permettent aux utilisateurs de surveiller les conditions de processus en temps réel. Ces paramètres de diagnostic comprennent la vitesse et la qualité de gravure, la puissance RF, la pression sous vide et le débit de gaz. Ce système fournit à l'utilisateur un contrôle de processus amélioré et permet l'optimisation de leur processus pour un débit et un rendement plus élevés. TEGAL 901e fournit également un haut degré d'uniformité de processus sur l'ensemble du substrat, en raison de la conception très efficace de la source de plasma à injection latérale basse pression. Cette caractéristique est particulièrement utile lors du traitement de grandes tailles de substrat et permet aux utilisateurs d'obtenir un nombre accru de lots de plaquettes par rapport aux gravures chimiques humides classiques. TEGAL 901 E dispose d'un design à deux chambres, qui fournit une plate-forme supérieure pour les processus de gravure qui nécessitent un traitement de surface et un cendrage. La chambre de cueillette peut être commutée d'un mode chaud à froid, permettant aux utilisateurs de basculer entre les processus de gravure et de cueillette avec un temps d'installation minimal. En plus de sa capacité de cueillette, la 901e fournit également un contrôle précis du moment et du débit pour les processus de gravure. 901 E est le graveur/asher idéal pour les processus exigeants tels que les traitements photorésistants et autres photomasques et exigences de gravure. Ses caractéristiques avancées et ses capacités de haute performance font de TEGAL 901e une solution fiable et rentable pour graver et aspirer des substrats de grande surface.