Occasion TEGAL 901e #9016257 à vendre en France
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TEGAL 901e est un graveur/ascher à plasma avancé et à haut débit conçu pour la fabrication de photomasques, de têtes de couches minces et de dispositifs MEMS. Il utilise une technique brevetée de gravure par laser pulsé qui fournit jusqu'à cinq fois la vitesse de gravure des outils de gravure traditionnels. Il peut atteindre des vitesses de gravure allant jusqu'à 25 μ m/min avec une définition précise des bords et des dommages de gravure minimes. La fonction de mode impulsionnel permet aux utilisateurs de contrôler le profil de profondeur du processus de gravure et de réduire la redéposition du matériau gravé. TEGAL 901 E est alimenté par une source de plasma à couplage inductif (ICP) à champ magnétique optimisé pour la gravure isotrope avec une grande uniformité, sélectivité et homogénéité. La source ICP est précise dans le contrôle de la sélectivité des gravures, réglable avec une plage de réglage allant jusqu'à 500 degrés Celsius, et capable d'une puissance allant jusqu'à 10 W avec une répétabilité et une stabilité élevées. La 901e assure un contrôle précis de la livraison des gaz de gravure et de refroidissement avec des régulateurs de débit massique indépendants (MFC) et des capteurs de contrôle de pression des gaz (GPCS) pour Ar, O2, N2 et d'autres gaz de procédé. 901 E fournit une gravure plasma précise avec une taille de chambre de 450 x 400 x 450 mm3 et une taille d'échantillon allant jusqu'à 3 x 3 po (76 x 76 mm). Il dispose d'un module de chargement FOUP entièrement automatisé et d'un système de détection de densité optique. De plus, avec son plasma peu porteur et sa conception impeccable, TEGAL 901e offre un contrôle supérieur de la contamination avec une espérance de vie exceptionnelle. TEGAL 901 E est un outil de gravure innovant conçu pour les applications haut de gamme de semi-conducteurs, photomasques et MEMS. Il fournit la plus grande précision dans la gravure, le contrôle précis de la livraison et des paramètres de gravure, et le plasma bas porteur pour le contrôle de la contamination. Facilement automatisé, robuste et économique, il est l'outil parfait pour la fabrication et les processus de gravure haut de gamme.
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