Occasion TEGAL 901e #9181762 à vendre en France

TEGAL 901e est un équipement de pointe utilisé pour la photolithographie et la technologie de dépôt en couches minces. Le système utilise la conception la plus récente du vide et de la chambre de réaction, ce qui le rend exceptionnellement fiable, répétable et précis. TEGAL 901 E offre également un niveau de rentabilité sans précédent pour une unité de niveau intermédiaire. La chambre de réaction 901e a un diamètre de 24 po et utilise un porte-plaquettes de chargement supérieur. Le porte-plaquettes et la cuve de réaction sont tous deux en acier inoxydable, ce qui confère à la machine une excellente stabilité thermique. L'outil comprend également un contrôle impressionnant de la température, des points de réglage du thermocouple et des capacités de ventilation sous-ambiante qui permettent une large gamme de températures de processus. L'actif utilise une conception à double source qui permet le chargement et le déchargement des deux sources dans la même chambre, offrant un débit et une efficacité inégalés. Les sources peuvent être chargées et déchargées avec un minimum d'interférence pendant le traitement. 901 E offre également un contrôle précis des taux d'évaporation des oxydes métalliques, permettant une prédiction précise des propriétés des films. TEGAL 901e est une plate-forme exceptionnelle pour des procédés tels que la photolithographie, l'évaporation d'oxyde métallique, le dépôt de couches minces, la gravure de films et le décapage de résines photosensibles. Il s'agit d'un modèle robuste et fiable adapté à toute une gamme d'applications et très économique pour les systèmes de niveau intermédiaire. Il dispose d'un cycle de processus très fiable et reproductible, d'un contrôle de la température supérieur, de faibles exigences d'entretien et de faibles coûts d'exploitation, ce qui en fait un choix exceptionnel pour les environnements de production à haut volume.