Occasion TEGAL 901e #9217066 à vendre en France

TEGAL 901e est un graveur/asher qui utilise la technologie Soft X-Ray pour façonner et traiter les matériaux avec une résolution plus fine que les autres techniques de balisage. TEGAL 901 E utilise un faisceau programmable de photons à rayons X énergiques pour graver avec précision des couches de matériau, créant des motifs et des formes désirés avec des bords propres et lisses et des détails exceptionnels. 901e offre des modèles de matériaux très précis et rapides aussi petits que 1,5nm de taille à un coût relativement bas par rapport à d'autres systèmes. Il est conçu pour des applications de R&D et de production sur les marchés de l'électronique à semi-conducteurs et des MEMS. Cet équipement permet une variété de processus, tels que la gravure en vrac et en surface, le dépôt et l'enlèvement de motifs, la gravure ionique réactive (RIE), le MEMS et d'autres procédés avancés à haute résolution. La 901 E est unique dans son intégration des composants Soft X-Ray et du système optique en une seule unité clé en main. Cette intégration donne à l'etcher/asher un ensemble bien arrondi de caractéristiques contrairement à toute autre machine sur le marché. L'outil est conçu à l'opération 24/7 sûre, avec complètement-customizable l'interface d'utilisateur qui augmente la qualité de processus de routine et les airs parfaits les résultats repeatable. TEGAL 901e est basé sur une optique de collimation à rayons X monochromateur monochromateur haut de gamme et à faisceau d'électrons multi-axes, qui dirige le faisceau vers le substrat cible. Il offre également une gamme de paramètres variables, y compris la dose, la concentration, la vitesse de gravure, et plus encore. Une boucle de rétroaction numérique en boucle fermée surveille la progression de la gravure afin d'assurer des résultats cohérents, tandis qu'un ensemble de fonctions de contrôle environnemental assure le fonctionnement sûr et efficace de l'actif. TEGAL 901 E est compatible avec les produits chimiques de gravure de l'oxyde d'aluminium et de silicium. 901e offre une suite de fonctionnalités d'automatisation avancées pour augmenter l'efficacité et le débit tout en minimisant les coûts et les temps d'arrêt. Il comprend la gestion intégrée des recettes, ce qui réduit la complexité et le temps d'installation, ainsi que la gestion automatisée des défauts, ce qui garantit des performances de processus répétables et un rendement accru. En outre, le modèle prend en charge la surveillance et le contrôle à distance à partir de plusieurs endroits. Dans l'ensemble, le 901 E est le graveur/asher idéal pour la R-D, le prototypage et les besoins de production. Son équipement Soft X-Ray intégré, son interface conviviale et ses résultats de haute précision en font un choix fiable et rentable pour un large éventail d'applications.