Occasion TEGAL 901e #9244749 à vendre en France

TEGAL 901e est un graveur/asher à plasma avancé conçu pour la gravure de précision des circuits électroniques et des surfaces micro-structurées. Il est capable de traiter des substrats jusqu'à 200mm (8 po) de diamètre et peut atteindre des vitesses de gravure allant jusqu'à 10 microns par minute. TEGAL 901 E utilise la technologie du plasma à couplage direct (DCP) pour appliquer un plasma hautement réactif sur les substrats. Ce plasma est alimenté par de l'énergie radiofréquence et est généré dans une chambre isolée et ventilée à l'intérieur de 901e. Ce processus crée une réponse de gravure précise et uniforme sur l'ensemble de l'espace de travail sans endommager les surfaces du substrat. De plus, l'ensemble de la chambre de traitement est spécifiquement conçu pour contenir le plasma, en l'empêchant de s'échapper dans l'espace de travail. 901 E est également capable de contrôler et de régler avec précision le profil du faisceau grâce à un équipement de distribution de gaz multidimensionnel à commande numérique. Ce système de distribution de gaz permet aux utilisateurs de contrôler avec précision le profil de livraison du faisceau et d'éliminer toute charge de pas verticale ou horizontale de gravure. TEGAL 901e offre une gamme de systèmes avancés de contrôle et de surveillance des processus pour assurer la précision et la cohérence pendant le fonctionnement. Il offre des relevés de température et de pression en temps réel pour garantir des performances précises et reproductibles. Cette unité fournit également une variété de capteurs et de systèmes de rétroaction pour surveiller les paramètres du processus et afficher graphiquement les données obtenues dans un format facile à comprendre. De plus, TEGAL 901 E dispose d'une machine d'alimentation intégrée en liquide de refroidissement pour aider à réguler la température de la chambre et du substrat. Cet outil de distribution de liquide de refroidissement peut être contrôlé et ajusté pour une précision et une répétabilité accrues. La 901e offre également des caractéristiques de sécurité et de commodité, comme un interrupteur de porte pour empêcher le fonctionnement involontaire du bien. Il est également livré avec une alarme haute/basse automatiquement et des boutons-poussoirs connexes. Dans l'ensemble, 901 E est un graveur/asher efficace et précis conçu pour traiter les substrats jusqu'à 200mm de diamètre avec précision et répétabilité. Ses fonctionnalités avancées, y compris les relevés de température et de pression en temps réel, le contrôle numérique du profil de faisceau, le modèle de liquide de refroidissement intégré et les systèmes de sécurité en font un choix idéal pour toute application de gravure de précision ou d'ashing.