Occasion TEGAL 901e #9244751 à vendre en France

TEGAL 901e est un graveur/asher de pointe conçu pour offrir des performances supérieures dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs les plus exigeants d'aujourd'hui. TEGAL 901 E dispose d'une puissante source inductive de 500 watts conçue pour fournir des profils de gravure à haut niveau de contact avec des rendements et des temps de retournement élevés. Sa combinaison de processus physiques et chimiques assure des profils de gravure cohérents et reproductibles tout en assurant un contrôle supérieur sur les paramètres critiques tels que la sélectivité des gravures, le rapport de surgravure et la profondeur de gravure. La 901e utilise également une source unique de plasma à haute densité qui produit des ions à forte puissance avec une gamme étroite d'énergie plasmatique. Cela lui permet de graver sélectivement des couches ultra minces de films organiques et inorganiques avec des résultats supérieurs et reproductibles. Il réduit également les dépôts hors cible et les autres artefacts provenant des transitoires de processus, contribuant ainsi à minimiser les dommages involontaires aux matériaux de substrat sensibles. Outre ses capacités de gravure, la 901 E dispose également de systèmes de contrôle avancés pour la surveillance et le contrôle de ses processus. Il utilise la détection optique pour un contrôle précis de la durée de gravure, ainsi que son système de capteurs in situ pour la surveillance des paramètres opérationnels en temps réel. Il dispose également de multiples systèmes d'alerte conçus pour détecter les changements dans les conditions de processus et avertir l'utilisateur de prendre des mesures pour prévenir tout effet indésirable. TEGAL 901e offre également des fonctions diagnostiques avancées et des recettes intégrées pour s'assurer que les projets de gravure les plus complexes sont réalisés avec précision et efficacité. La bibliothèque de recettes permet aux utilisateurs d'enregistrer leurs processus de gravure fréquemment utilisés, ou même d'utiliser des recettes pré-programmées pour accélérer certaines tâches. TEGAL 901 E est également conçu avec des caractéristiques de sécurité exceptionnelles comme son système d'arrêt d'urgence intégré et la surveillance active par l'opérateur pour assurer un fonctionnement sûr en tout temps. En résumé, 901e est un système de gravure avancé conçu pour répondre aux besoins des procédés de fabrication de semi-conducteurs les plus exigeants d'aujourd'hui. Il offre une sélectivité supérieure du substrat, des rendements élevés et des motifs de gravure reproductibles, ainsi qu'un contrôle avancé des processus de gravure et de la surveillance de la sécurité.