Occasion TEGAL 901e #9247682 à vendre en France

TEGAL 901e Etch/Asher est un équipement de lithographie avancé conçu pour les opérations de plaquettes ultra-grandes. Il offre une variété de processus de gravure et de planarisation uniformes et isotropes pour tous les types d'appareils. Le système tire parti des dernières avancées dans les technologies de préparation des cellules et des substrats pour fournir une uniformité et un contrôle supérieurs de tous les processus de gravure et de planarisation. TEGAL 901 E utilise une grande surface active de 330mm et est disponible dans les plates-formes simples et multi-étapes, permettant des recettes plus dynamiques et la flexibilité dans la structure de gravure. La plateforme est pilotée par le logiciel de recette basé sur Windows, TEGAL Recipe Manager (TRM), qui permet aux opérateurs de construire des recettes personnalisées, de rationaliser les opérations et d'augmenter le débit. La source lumineuse au xénon 901e et le contrôleur logiciel Smart Heater permettent d'excellents résultats de gravure photo-définissables à une large gamme de températures, permettant aux opérateurs de combiner uniformité et vitesse dans l'environnement de production. En outre, l'unité offre des capacités de transfert et de balayage à grande vitesse, avec une vitesse de balayage maximale de 300mm/sec. La 901 E a été conçue en tenant compte de la sécurité, avec un certain nombre de fonctions orientées vers la sécurité et d'avertissements pour les opérateurs. La machine a subi un certain nombre de tests de sécurité pour garantir une fiabilité matérielle et logicielle élevée. En termes de support matériel, TEGAL 901e est capable de se connecter à une variété d'ordinateurs hôtes, offrant une compatibilité avec une large gamme de systèmes d'exploitation. En outre, l'outil peut accepter des fichiers CAM de la plupart des outils de lithographie standard, et peut produire des fichiers de données de confirmation pour garantir l'exactitude et la qualité pendant la production. TEGAL 901 E est un choix idéal pour les opérations de plaquettes ultra-grandes, offrant un haut degré de fiabilité, de flexibilité et de contrôle. L'uniformité, la vitesse et l'efficacité prouvées de l'actif permettent à l'utilisateur de produire des appareils avec précision et précision.