Occasion TEGAL 901e #9314694 à vendre en France

TEGAL 901e Asher est un équipement de gravure moderne et de haute technologie pour la production de circuits et d'autres composants. C'est un système qui combine les derniers en matière de planarisation mécanique chimique (CMP), Ion Etch réactif (RIE) et Wafer Clean. TEGAL 901 E est une unité de gravure à sec haute performance qui utilise des mélanges réactifs d'oxygène pour produire des composants de cartes de circuit à haute résolution spatiale. La construction de base de la 901e comprend deux boîtes à gaz qui créent et gèrent l'écoulement des mélanges précis de gaz nécessaires au processus de gravure. Ces boîtes à gaz sont situées au-dessus et au-dessous de la chambre de gravure. La chambre de gravure est une chambre de traitement étanche au vide en acier inoxydable qui abrite le support/masque, la carte cible et le substrat. Il dispose d'une machine de contrôle de pression intégrée dans la porte de la chambre et est équipé d'une vanne d'évent rapide pour l'ouverture et la fermeture sécurisée de la chambre. 901 E dispose d'un outil de chauffage à 4 zones et 4 microns et d'un contrôleur qui assure un contrôle précis de la température et du débit de gaz pour chaque étape de gravure. TEGAL 901e comprend un puissant générateur d'énergie pulsée qui fournit une distribution d'énergie contrôlée et cohérente à la cible et au porteur. Cela permet un contrôle précis de l'uniformité, de la sélectivité et des capacités de vitesse de gravure. C'est un atout entièrement automatisé qui permet à la fois la gravure d'un seul masque ou d'un masque multiple. En outre, TEGAL 901 E offre l'enregistrement des données intégrées, le nettoyage et les inspections de fin d'étape, permettant une répétabilité et un gaspillage minimal des matériaux des étapes de gravure. 901e est équipé de dispositifs de sécurité avancés, y compris des capteurs de température, de pression et de contrainte. Le modèle est conçu avec des portes ergonomiques opérationnelles avec poignée verrouillable, crochets d'entretoisement et verre anti-explosion, assurant le plus haut niveau de sécurité dans le processus de gravure. La performance de la 901 E est parmi les meilleures sur le marché car elle est capable de produire une résolution de gravure de 5 microns et un taux de dépôt plus rapide pour le cuivre, l'aluminium et d'autres matériaux. L'équipement fonctionne avec des résultats cohérents et reproductibles. Ses caractéristiques avancées en font un système de gravure idéal pour les cartes électriques, circuits intégrés et autres composants critiques.