Occasion TEGAL 903 & 903E Series #425 à vendre en France

TEGAL 903 & 903E Series est un graveur/asher, un outil de pointe pour la gravure, l'ashing et la gravure sèche dans un large éventail d'applications, spécifiquement pour la fabrication de MEMS et de dispositifs liés aux semi-conducteurs. Il utilise un équipement de débit de gaz chauffé innovant pour graver et ashe matériaux ciblés, offrant des taux de gravure élevés, un meilleur débit de l'appareil, et des temps de cycle de gravure réduits. La série 903 & 903E a une grande chambre large, avec une grande surface de gravure de 300 mm x 400 mm x 40 mm. Il dispose d'un tube à quartz de faible entretien, de parois lisses en céramique et d'un système d'entraînement de haute précision avec un contrôleur à fréquence variable pour contrôler la vitesse de gravure. L'unité dispose de nombreux contrôles de processus avancés, y compris la pression, la température, le débit de gaz, le type de gaz de protection, la vitesse d'évacuation de la chambre, le choix des paramètres et la charge/déchargement. Dans l'ensemble, la série TEGAL 903 & 903E offre des performances de gravure supérieures ainsi que de nombreux contrôles de processus avancés pour permettre une gravure et une cendre de haute précision des métaux traditionnels et des nouveaux matériaux. La machine est construite pour la fiabilité, un faible entretien et un fonctionnement économique. La série 903 & 903E dispose d'une grande fenêtre de processus, de vitesses de gravure rapides et d'un meilleur débit d'appareil. Il est également conçu pour réduire la contamination des particules et permettre un débit supérieur avec des temps de cycle plus courts. La série peut effectuer gravure activée au laser, gravure ionique, gravure ionique réactive, gravure plasma, et RIE de matériaux diélectriques, pictroniques et optiques. Cela le rend adapté à une variété d'applications industrielles et commerciales, y compris l'électro-optique, la photonique, la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, et MEMS. Dans l'ensemble, TEGAL 903 & 903E Series est un graveur/asher haute performance qui offre des performances de gravure supérieures, des taux de gravure élevés, un débit d'appareil supérieur et des temps de cycle améliorés. L'outil dispose de nombreux contrôles de processus avancés qui permettent la gravure précise et le cendrage des métaux traditionnels ainsi que de nouveaux matériaux pour une variété d'applications industrielles.