Occasion TEGAL 903 #173938 à vendre en France

TEGAL 903
Fabricant
TEGAL
Modèle
903
ID: 173938
Taille de la plaquette: 4"
Reactive ion etcher, 4" Cassette to cassette Includes: Fomblin prepped direct drive vacuum pump Not included: Chillers.
TEGAL 903 est une gravure/cendres à plasma manuelle électrostatique utilisée dans la fabrication de produits de haute technologie tels que les plaquettes semi-conductrices. C'est l'un des équipements de gravure sèche les plus polyvalents et les plus puissants pour les laboratoires de recherche, de développement et de prototypage de pointe. La machine peut graver/cendre une grande variété de matériaux tels que le silicium, les métaux, les diélectriques, les passivates et de nombreux autres substrats. Le processus de gravure est très précis et a la capacité de graver des caractéristiques microscopiques avec une haute sélectivité. La machine utilise la nouvelle technologie avancée d'un générateur de champ électrostatique alimenté par plasma pour entraîner les ions métalliques et d'autres matériaux réactifs à la surface de la plaquette. La 903 comporte deux chambres électrostatiques isolées qui permettent la gravure multi-masques et une plage de température variable. Les deux chambres peuvent être utilisées à des températures différentes, ce qui permet à l'utilisateur de produire des gravures à motifs complexes tout en contrôlant la profondeur d'enfouissement. Avec ses réglages de pression et de température réglables, TEGAL 903 peut atteindre une large gamme d'épaisseurs de dépôt. Cela permet de choisir la vitesse de gravure optimale et la qualité de sortie. La 903 est capable de produire des taux de gravure extrêmement élevés, en particulier avec des matériaux tels que le silicium et le germanium. La machine dispose d'un système de vide avancé qui maintient un environnement de gravure stable pour un débit et une répétabilité élevés. La fonction de contrôle de niveau automatique permet de reproduire les profils de gravure de la plaquette à la plaquette. TEGAL 903 offre une excellente précision et répétabilité. Sa conception polyvalente permet un accès facile à toutes les procédures de gravure, y compris le masquage, le dépôt, la gravure et le nettoyage. Son interface conviviale, sa structure de menu intuitive et sa technologie de pointe en font un excellent choix pour les professionnels de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. La machine est abordable et assure un fonctionnement fiable et économique.
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