Occasion TEGAL 903 #293594520 à vendre en France

TEGAL 903 est un équipement moderne de lithographie en écriture directe conçu pour la fabrication de nanostructures avec précision et efficacité. Le système utilise une optique avancée, des systèmes de positionnement, et des logiciels spécialisés pour exposer précisément une photo-résistance à une source lumineuse. Des lentilles et des miroirs à haute résolution sont utilisés pour concentrer l'énergie lumineuse sur un substrat, ce qui permet une lithographie contrôlée. Cette unité est capable de limiter les nanostructures à des dizaines de nanomètres. 903 est un dispositif standard de l'industrie qui peut être utilisé avec une variété de substrats et résiste pour créer des nanostructures avec une grande précision. La machine comporte plusieurs composants qui jouent chacun un rôle essentiel dans le processus de lithographie. Le module d'éclairage est l'élément clé de l'outil et le type de source lumineuse utilisée dépendra du motif à écrire. Selon le travail, la source de lumière peut être un laser, i-line, ou ArF excimer laser. En plus des composants optiques standard, TEGAL 903 intègre un atout de positionnement d'étage avec commande motorisée et manuelle à trois axes pour assurer un positionnement précis du substrat. Pour assurer un motif précis, le modèle dispose d'outils sophistiqués d'alignement et de métrologie pour assurer la perfection du motif exposé. De plus, la 903 offre plusieurs paramètres de contrôle de processus, y compris le contrôle de dose et de focalisation, la tension appliquée et le positionnement des pellicules, pour permettre un contrôle de processus précis pour une variété d'applications. L'équipement comprend également une source de lumière auxiliaire pour résister à la cuisson qui chauffe jusqu'à 200 ° C Le logiciel d'alimentation TEGAL 903 est conçu pour fournir une interface utilisateur intuitive qui permet la création rapide d'échantillons et le prototypage rapide. 903 est le système de gravure et de cendrier le plus large, spécialement conçu pour les nanomatériaux, offrant la flexibilité nécessaire pour répondre à une variété de besoins de production uniques du client. Avec son optique de pointe, son logiciel intelligent et sa commande motorisée de précision, TEGAL 903 permet aux utilisateurs de graver et d'asher des nanostructures avec une grande précision et répétabilité.