Occasion TEGAL 903 #9007913 à vendre en France

TEGAL 903 est un graveur/asher conçu pour la production de petites puces de logique aléatoire et de mémoire. Il est équipé d'une source de faisceau d'électrons et d'un équipement de déviation de faisceau qui lui permettent d'atteindre un haut débit et une qualité de gravure constante. 903 a été prouvé pour produire de manière fiable des plaquettes avec des tailles de caractéristiques inférieures à 1 micron. Ce système dispose d'un pistolet à pistolet perforé avancé avec un faisceau d'électrons maillé réglable indépendamment qui sont capables d'ioniser et de déposer des matériaux de très haute précision. L'intégration de cette source avancée de faisceau d'électrons avec l'unité innovante de déflexion du faisceau permet une gravure à haut débit à des résolutions inférieures à 1 micron, ce qui est utile pour des caractéristiques telles que les largeurs de lignes ultra fines et les trous de contact. La machine est livrée avec un certain nombre de fonctionnalités innovantes pour assurer la répétabilité du processus et le contrôle du processus. Un outil de rétroaction en boucle fermée utilise une caméra à couplage de charge pour surveiller l'avancement de la gravure et effectuer des corrections au milieu de la gravure pour maintenir des paramètres critiques comme l'uniformité, la précision du trou de contact, la largeur et la profondeur. L'actif est également équipé de vannes à gaz réglables qui permettent aux utilisateurs de contrôler avec précision les paramètres de gravure tels que l'angle du flanc, le taux de dépôt, la taille des caractéristiques et le taux de gravure. Un moniteur de vitesse de gravure aide également à fournir une rétroaction pour maintenir l'uniformité à travers la plaquette. Pour garantir la précision du processus, TEGAL 903 utilise des épurateurs de précision et une capacité de clôture Wi tridimensionnelle pour s'assurer que les motifs sont transférés du masque à la plaquette avec une grande précision. La programmabilité du modèle permet également des recettes hautement personnalisables afin que les utilisateurs puissent adapter leur processus à leurs besoins spécifiques. L'une des caractéristiques les plus notables de la 903 est sa nature multi-outils. Il peut être utilisé pour la gravure, le placage, et d'autres types de processus pour répondre à une variété de besoins de production. Avec ses capacités à haut débit et ses algorithmes de contrôle sophistiqués, TEGAL 903 est parfait pour produire en volume des puces logiques et mémoire aléatoires.