Occasion TEGAL 903 #9071954 à vendre en France

TEGAL 903 est un système de graveur/ascher haute performance conçu pour le traitement d'une grande variété de substrats. Il a une vitesse de gravure maximale de 400 nm/min, et une vitesse de dépôt maximale de 500 nm/min, ce qui le rend idéal pour le traitement de substrats plus gros. Il a un procédé de double passage avancé qui permet une uniformité sur l'ensemble du substrat, et est donc bien adapté pour des procédés de gravure et de dépôt précis. 903 dispose d'une gamme de paramètres réglables, ce qui signifie que les utilisateurs peuvent adapter leurs processus à leurs besoins spécifiques. Il s'agit notamment de diverses variables du procédé, telles que la pression du procédé, la température de la chambre, la durée du procédé et la composition du gaz, ainsi que des paramètres propres au procédé, comme la détection du point d'extrémité et le mélange réactif de gaz pour la gravure et le dépôt. TEGAL 903 dispose d'une gamme complète de systèmes de sécurité, tels que la purge automatique du dioxyde de carbone et de l'azote, la surveillance de la pression, la protection contre la tension et l'interrupteur de défaut au sol. Tous ces systèmes de sécurité garantissent que l'appareil peut être utilisé en toute sécurité. La 903 a également un haut niveau d'automatisation et de contrôle, permettant un contrôle précis des processus de gravure et de dépôt. Il dispose également d'une interface graphique conviviale (GUI) qui est conçue pour rendre le fonctionnement de TEGAL 903 plus facile et plus efficace. La 903 est adaptée pour la fabrication de semi-conducteurs, de dispositifs électro-optiques, hyperfréquences et MEMS. Il est également bien adapté à de nombreuses autres applications, telles que les dispositifs de stockage de données, la caractérisation des matériaux, la fabrication de dispositifs photoniques et les dispositifs biomédicaux. En conclusion, TEGAL 903 est un système de graveur/asher multifonctionnel avancé conçu pour un large éventail d'applications. Il dispose d'un processus double passe pour le traitement uniforme des substrats, d'un contrôle réglable des paramètres pour adapter les processus aux besoins de chaque utilisateur, d'une gamme de systèmes de sécurité pour assurer un fonctionnement sûr et d'une interface graphique conviviale pour un fonctionnement efficace. Il est bien adapté à de nombreuses applications différentes, comme en témoigne son large éventail d'utilisateurs.