Occasion TEGAL 903 #9076197 à vendre en France

TEGAL 903
Fabricant
TEGAL
Modèle
903
ID: 9076197
Taille de la plaquette: 6"
Oxide etchers, 6".
TEGAL 903 est un dispositif graveur/asher plasma haut de gamme utilisé pour la gravure/ashing précise et fiable de divers matériaux tels que le silicium, l'arséniure de gallium, le phosphure d'indium et les substrats silicium sur isolant (SOI). Cet équipement de pointe est doté d'un design innovant qui combine un scanner électro-optique à haute résolution fiable et une chambre de gravure contrôlée par ordinateur. 903 est un système tout-en-un qui permet à la fois la gravure et l'ashing des substrats, ce qui le rend idéal pour de nombreuses applications différentes. TEGAL 903 est très précis et efficace, avec une résolution de 1 micron, une précision de 0,5 micron et une vitesse de 5 ms/micron pour les matériaux épais et 0,3 ms/micron pour les matériaux minces. Cela garantit que tous les processus de gravure/cueillette restent aussi précis et cohérents que possible. L'unité peut également être configurée pour traiter jusqu'à quatre motifs différents en utilisant quatre gaz de gravure différents. Cela permet à l'utilisateur de créer des structures complexes et tridimensionnelles avec précision et rapidité. La 903 est équipée d'un générateur de plasma unique alimenté par une source basse tension. Ce générateur est conçu pour produire un jet de plasma stable pour tous les procédés, permettant des résultats cohérents quel que soit le type de substrat. La machine se compose également d'une interface informatique très précise, permettant de caractériser et d'affiner rapidement et facilement les paramètres précis. TEGAL 903 est relativement facile à utiliser, car toutes les opérations peuvent être automatisées via le panneau de commande convivial. L'outil a des caractéristiques de sécurité intégrées, et la chambre de gravure est fixée à un cadre modulaire. Ce cadre réduit les vibrations et les mouvements pendant le fonctionnement, permettant des processus toujours précis. En outre, 903 est également livré avec une variété de systèmes optionnels de pompage à vide qui peuvent être utilisés pour réduire le temps total de gravure. Dans l'ensemble, TEGAL 903 est un actif avancé de gravure/cueillette qui fournit à la fois la précision et la précision à un prix abordable. Il peut gérer une variété de processus et de types de substrat, et sa conception intuitive permet de réaliser des processus de gravure même complexes rapidement et sans erreur. 903 est un choix idéal pour les utilisateurs à la recherche d'une solution de gravure et de cendrage fiable, efficace et rentable.
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