Occasion TEGAL 903 #9152161 à vendre en France

Fabricant
TEGAL
Modèle
903
ID: 9152161
Taille de la plaquette: 6"
Reactive ion etcher, 6".
TEGAL 903 est un graveur et asher qui fournit une plate-forme avancée pour la fabrication de circuits intégrés avec les plus hauts niveaux de fiabilité et de performance. Il s'agit d'une plate-forme fiable qui supporte les processus de gravure et de cendres avec une répétabilité et un rendement constants sur une large gamme de paramètres de processus semiconducteurs. La 903 dispose d'une interface utilisateur (UI) moderne et d'une interface graphique intuitive, ainsi que d'une technologie de mémoire distribuée avancée, de recettes matricielles et d'une liste complète de paramètres de processus pour la précision et le contrôle, offrant une plate-forme flexible pour une variété de besoins de processus. De plus, TEGAL 903 offre une uniformité de processus complète, une récupération rapide avec des spécifications de contrôle de processus serrées, et une capacité de processus multi-gravure. La 903 offre une durabilité robuste et des performances fiables dans tout le spectre des opérations de fabrication de semi-conducteurs, du polycide diélectrique aux applications RIE et ashing de réseaux. TEGAL 903 utilise une interface graphique conviviale et offre une gamme de fonctionnalités d'automatisation de l'équipement qui aident à configurer rapidement et facilement les recettes pour les opérations de gravure et de cueillette. La technologie de mémoire distribuée du système garantit des modèles fiables et reproductibles à partir de produits aussi petits que 2µm jusqu'à 8µm de fonctionnalités. La 903 dispose également d'une capacité multi-processus pour les opérations de gravure et de cendres multiples, telles que les applications d'isolation des tranchées peu profondes (STI) de la RIE. L'unité robuste de contrôle et d'acquisition de données (CDA) de TEGAL 903 fournit précision et répétabilité pour répondre aux besoins de traitement des semi-conducteurs les plus exigeants. L'architecture avancée de 903 permet un contrôle précis des processus et un contrôle complet de tous les paramètres pendant les opérations. Il est également capable de fournir des optimisations de processus via la machine d'acquisition de données de processus (PDS) ou par la ligne de commande. TEGAL 903 offre des performances et une rentabilité supérieures lorsque les opérations de fonderie et d'assemblage exigent des niveaux élevés de complexité et de précision de gravure et d'ashing. Il est équipé d'un ensemble complet de contrôles et de logiciels pour le fonctionnement automatisé et manuel, permettant aux utilisateurs d'optimiser leur efficacité et de rendement. L'objectif ultime de 903 est de fournir des processus de fabrication fiables et rentables pour les produits de haute qualité.
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