Occasion TEGAL 903 #9210306 à vendre en France

TEGAL 903 est un équipement de gravure/cueillette simple et peu coûteux conçu pour la production de métaux et de composés de haute qualité. Le système utilise un procédé de dépôt chimique en phase vapeur modulé (CVD) à basse pression pour produire des métaux, des alliages et des composés intermétalliques de haute pureté. Il dispose d'une plage de température de la chambre de processus allant jusqu'à 1000 ° C, un choix important de gaz, et des plages de pression allant jusqu'à 25 mbar. Le procédé de gravure/cueillette mis en oeuvre par 903 repose sur une combinaison de deux étapes importantes : la formation CVD d'un film protecteur sur le substrat d'intérêt, et la cueillette pour éliminer les résidus indésirables du substrat. L'unité fournit également le taux de dépôt le plus élevé disponible pour les CVD, ainsi qu'une pureté chimique supérieure à celle de nombreux autres systèmes. De plus, la machine a été conçue pour occuper très peu de place dans un laboratoire ou une zone de production. L'outil CVD basse pression de TEGAL 903 offre les taux de dépôt les plus élevés disponibles, avec un taux de dépôt allant jusqu'à 6,5 nm/s et jusqu'à 30nm/min, selon les matériaux et les paramètres du procédé. De plus, l'actif présente une uniformité de dépôt robuste allant jusqu'à 99,95 %, avec une précision de dépôt allant jusqu'à 0,02 micromètre. Ceci couplé à une excellente reproductibilité de vitesse le rend apte à obtenir une excellente qualité de surface du substrat et un dépôt de film précis. La 903 est dotée d'un support de substrat de haute précision, entièrement piloté, capable de se déplacer avec des vitesses élevées allant jusqu'à cinq points-cinq millimètres par minute, ainsi que d'une chambre de protection afin de réduire la génération de vibrations, de minimiser le transfert de chaleur vers le substrat et de protéger le modèle contre l'ozone et les particules de poussière. En outre, une ligne de vide supplémentaire est reliée à l'extérieur de la chambre de travail sécurisée pour évacuer les gaz en excès et éliminer les particules indésirables du processus de gravure/cueillette. TEGAL 903 dispose également d'une unité de mélange de gaz, qui permet des rapports stoechiométriques et non stoechiométriques exacts pour les ingrédients gazeux du processus de gravure/cueillette. L'unité est capable de fournir des quantités appropriées de gaz multiples en un seul cycle, qui peuvent être contrôlées avec précision selon les conditions et paramètres souhaités. Le mécanisme d'entraînement est également refroidi à l'air, pour assurer un fonctionnement stable et fiable. En conclusion, le 903 est un équipement de gravure/cueillette peu coûteux, efficace et fiable, avec une vitesse de dépôt, une uniformité et une précision supérieures. Avec sa capacité à offrir un mélange précis des gaz, un contrôle robuste des procédés et une protection contre les polluants externes, le système est un choix idéal pour les scientifiques et les ingénieurs qui cherchent à produire des métaux et des composés de haute qualité.