Occasion TEGAL 903 #9250122 à vendre en France

TEGAL 903 est un graveur/asher en phase vapeur de type lot utilisé dans les applications de gravure et d'ashing en phase vapeur haut de gamme qui nécessitent des résultats précis sur de grandes quantités. Il dispose d'un procédé breveté à basse température (LTP) avec une chimie brevetée des précurseurs à base de plasma, qui offre une fonctionnalité profondément gravée avec une topographie optimisée. L'équipement est conçu pour inclure une grande variété de modules de processus afin d'assurer un niveau élevé de précision dans les processus de gravure, de dépôt en phase vapeur et de dépôt. Ces modules comprennent la gravure 3D, la gravure à temps contrôlé, la formation de films avancés, le dépôt de couche atomique et d'autres procédés propriétaires. 903 est un système automatisé, ce qui signifie qu'il peut être programmé pour effectuer un certain nombre de processus de gravure et de cueillette différents sans ajuster manuellement l'équipement. La machine est équipée de composants de précision multiples et de mesures d'automatisation qui garantissent ses performances répétables. L'équipement a une gamme de 1250 à 2500 watts de puissance, ce qui le rend idéal pour les applications de gravure et de cendrage à haut volume. L'unité comprend également un moteur turbo-impulsionnel en option, lui permettant de fonctionner des puissances encore plus élevées et de fournir une profondeur de gravure encore plus précise. TEGAL 903 dispose d'une technologie brevetée de compensation de température qui permet à la machine d'ajuster sa puissance et ses paramètres de processus au besoin pour assurer une profondeur de gravure constante. Il dispose également d'un outil unique de Gaz Heaterflow (GHF) qui fournit une distribution très uniforme du gaz de procédé. De plus, l'actif fonctionne à basse température avec un plateau thermique auto-alignant qui réduit les chances de piégeage des gaz dans les surfaces du dispositif. L'équipement comprend un grand nombre d'options, y compris un gestionnaire de recettes embarqué pour la programmation des recettes de gravure et d'ashing, et de nombreux outils d'analyse pour surveiller le processus, y compris l'imagerie inclinée, SEM, et l'analyse des rayons X. Ces outils permettent aux utilisateurs de maximiser la précision et la productivité de l'équipement. Enfin, la 903 est dotée d'un moteur puissant à moteur vectoriel pour une précision et une répétabilité élevées. TEGAL 903 est un graveur/asher polyvalent et précis capable de produire d'excellents résultats pour des applications de gravure et d'ashing à haut volume. Sa vaste gamme de modules de processus, ses fonctionnalités avancées et ses options personnalisables en font un outil idéal pour une variété de besoins de gravure et d'ashing.