Occasion TEGAL 903E Series #83010 à vendre en France

TEGAL 903E Series Etcher/Asher est un équipement de pointe de graveur et d'asher chimique en ligne utilisé pour un large éventail d'applications, y compris la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la production de circuits imprimés et la fabrication de dispositifs MEMS. Le système est conçu pour graver et asher avec précision, vitesse, précision, et un haut degré de flexibilité. TEGAL 903E comprend un étage de mouvement avancé à axe xy, une table de codage optique haute résolution et un environnement d'exploitation PC/Windows/Software. L'étape de mouvement comprend un entraînement linéaire à long temps et un mouvement de stade durable et répétable qui facilite les processus de gravure et d'ashing de grande surface. La table de codage optique haute résolution fournit un positionnement précis, cohérent et un mouvement répétable pour assurer une gravure et un cendrage précis. L'environnement d'exploitation PC/Windows/Logiciel est convivial, permettant un contrôle facile et intuitif de l'unité. TEGAL 903E intègre une machine à vide multi-zones qui fournit un environnement étanche pour la gravure et l'ashing. L'outil de vide s'ajuste au nombre de processus nécessaires, et peut aller de processus monocouche à multi-zones. En outre, plusieurs recettes de gravure peuvent être programmées dans l'actif pour différents processus, permettant des processus de gravure et d'ashing simples et répétables. TEGAL 903E dispose également d'un modèle avancé de contrôle de tuyère Cool-GasMC, qui fournit un contrôle précis du débit de gaz et des niveaux de pression pour améliorer le contrôle des processus de gravure et d'ashing. De plus, l'équipement comprend un système de surveillance et de rétroaction de la température de la plaquette qui peut ajuster automatiquement les conditions des buses de gaz frais pour assurer la précision et la stabilité de la température du substrat. TEGAL 903E comprend également des capacités de réseautage avancées. L'unité peut être reliée en réseau à d'autres systèmes de gravure et de cueillette, ou à l'ordinateur de processus d'un client pour faciliter la surveillance et le contrôle des processus. De plus, la machine peut être connectée au logiciel de contrôle existant d'un client pour être intégrée à d'autres systèmes de traitement en ligne. Dans l'ensemble, 903E Series Etcher/Asher est un outil de gravure et d'ashing avancé et fiable conçu pour des applications nécessitant un contrôle et une répétabilité précis. L'actif intègre une grande variété de fonctionnalités et de capacités qui offrent aux utilisateurs la flexibilité d'effectuer la gravure et le cendrage avec précision, vitesse et précision.