Occasion TEGAL 903E Series #92424 à vendre en France

La série TEGAL 903E est un équipement révolutionnaire d'asher/graveur direct à chambre unique conçu pour traiter rapidement les plaquettes, les puces, les substrats et les matériaux avec un accent critique sur la précision et la précision. TEGAL 903E est basé sur une plate-forme entièrement automatisée, permettant de contrôler les variables de processus et les recettes en appuyant sur un bouton, offrant une répétabilité supérieure des résultats. Avec ses procédés de gravure humide et sèche, TEGAL 903E est l'outil idéal pour le développement de procédés avancés et les essais de production sur le marché des semi-conducteurs, des nanotechnologies et des MEMS. Le 903E offre une précision et une répétabilité supérieures grâce à son bras robotique contrôlé par ordinateur et à sa chambre de gravure contrôlée par ordinateur. Ce système est capable de traiter exceptionnellement rapidement de petits échantillons avec une grande précision. L'unité de gravure TEGAL 903E est conçue pour des applications à haut débit, avec une chambre de procédé, calibrée pour la quantité exacte de solution de gravure. Une chambre de réaction extra-large permet une couverture complète des plaquettes et des échantillons, permettant une efficacité de gravure maximale. Le 903E dispose également d'une interface utilisateur simple et facile à utiliser avec un logiciel embarqué et plusieurs langages de contrôle. Toutes les opérations de trempe, de gravure et de séchage sont entièrement automatisées et précises, assurant une cohérence solide et un contrôle précis du processus. TEGAL 903E permet aux utilisateurs d'optimiser les processus de gravure et de dépôt pour des matériaux spécifiques, et de personnaliser les recettes de processus. Les plaquettes sont automatiquement chargées et déchargées dans TEGAL 903E, l'orientation des échantillons étant entièrement automatisée. La fonction unique de rotation et de vibration de l'échantillon permet de minimiser l'accumulation de particules et la rugosité de surface. Le 903E comprend également une procédure de trempe avancée pour minimiser les dommages aux plaquettes et la rugosité après gravure, tout en obtenant des taux de gravure plus élevés, et une résolution améliorée. Série 903E est une machine de gravure puissante, tout-en-un, et asher/etcher. Avec un débit plus élevé, une précision et une précision excellentes, une répétabilité améliorée et une automatisation complète, TEGAL 903E est une solution idéale pour traiter rapidement de petits échantillons pour un large éventail d'applications. Sa procédure de trempe supérieure offre une excellente intégrité des plaquettes, des taux de gravure et une résolution améliorés, ce qui donne des résultats cohérents et de haute qualité.