Occasion TEGAL 903E #293654462 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293654462
Taille de la plaquette: 6"
Etcher, 6"
Through the wall
Handles: 3"-6" Silicon
Reactor chamber with upper and lower electrode
Super spatulas
Shuttle wafer transfer
Typical temperature controller
JULABO Chiller: 0-80°C
ENI ACG-10B Solid state
RF Matching network, 13.56 MHz (Fully automated)
ENI ACG-10B RF Generator 13.56 MHz
RF Power: 50-1,000 W
Wafer quartz pin: Up / Down
Calibration and built-in diagnostic function
SEC / GEM Communication function
Multi-level password protection
Distilled water
Capacity: 2.8 gal
Outlet pressure: 40 psig, 45 psig max
Flow connecting hose must withstand coolant at 40 psig at 80°C
Display: Real-time graphic
Storage capacity: 20 Recipes
Gasses:
Gas 1: 15-20 psig +/- 5psig
Gas 2: 15-20 psig +/- 5psig
Gas 3: 15-20 psig +/- 5psig
Gas 4: 15-20 psig +/- 5psig
Clean channel needle valve O2: 20-30 psig +/- 5psig
Cabinet exhaust: 100 CFM (2.832 LPM) min
Typical process:
Material etched: Silicon oxide, polyimide, SOG and PECVD nitride
Gases: CHF3, SF6, Helium
Typical process pressure: 1600-3000 m Torr
Typical RF-power level: 400-600 W
Typical temperature: Upper electrode, 24/30°C, Lower electrode, 19/23°C
Power supply: 200-240 VAC, 50/60 Hz, 30 Amp, 3 Wire, 1 Phase, 2 Pole.
TEGAL 903E est un graveur/asher spécialement conçu pour être utilisé dans l'industrie commerciale de la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'une solution de gravure automatisée performante qui peut gérer différents processus de gravure - de la gravure sèche des couches d'oxyde de silicium à la gravure sèche du SiC, en passant par le dénudage des lignes de circuits, ainsi que d'autres fonctions de tâche comme on le verra plus loin. TEGAL 903 E fournit une solution de gravure entièrement automatisée. Il offre une large gamme de recettes de gravure et de recettes qui peuvent être adaptées à des applications spécifiques. Le processus de gravure se fait avec une intervention humaine minimale et est conçu pour maintenir les caractéristiques suivantes en état de pointe : uniformité de gravure, débit et contamination réduite. 903E est construit à l'aide de matériaux robustes pour lui permettre de résister à des environnements industriels difficiles et peut accueillir à la fois des processus simples et multi-étapes. Il dispose d'un équipement de serrure à trois chambres/double charge qui assure un traitement plus rapide des plaquettes, tout en optimisant les effluents. Le processus de gravure est contrôlé par l'utilisation d'une interface utilisateur graphique interactive. 903 E peut fonctionner dans une variété de plages de température et est équipé d'une source de gravure basse pression chauffée. TEGAL 903E peut travailler avec une variété de formes de conteneur en fonction des exigences de spécification. Il comprend également un système de protection laser embarqué ainsi qu'un système automatique de suivi des points d'extrémité des plaquettes. TEGAL 903 E comprend également plusieurs autres fonctionnalités distinctes, telles que l'Auto-tune, les capacités avancées de stockage et de récupération des recettes de gravure, le mouvement automatique des cassettes et les capacités de surveillance locale/à distance. De plus, 903E est associé à plusieurs fonctionnalités avancées, telles qu'une unité de suivi rapide et précise de 7nm, un mécanisme de manutention à grande vitesse des plaquettes, une unité de diagnostic et de surveillance en temps réel de la machine, ainsi que des capacités d'enregistrement des données. Ces caractéristiques se combinent pour faire de la 903 E l'une des solutions asher/etcher les plus robustes, fiables et efficaces sur le marché, ce qui la rend apte à être utilisée dans le secteur commercial de la fabrication de semi-conducteurs.
Il n'y a pas encore de critiques