Occasion TEGAL 903E #293745370 à vendre en France
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TEGAL 903E est un équipement de haute qualité de gravure ionique réactive (RIE) développé par TEGAL Corporation. Il est capable d'obtenir une gravure précise d'une large gamme de matériaux tels que le silicium, l'arséniure de gallium, le quartz et d'autres matériaux. Le système dispose d'une grande chambre avec un volume de 13 litres pour fournir amplement d'espace pour la gravure de plus grands échantillons. Il est équipé d'un générateur hyperfréquence de grande puissance qui permet un contrôle précis des fréquences hyperfréquences avec une large sélection de fréquences, ainsi qu'un contrôle de polarisation qui permet aux utilisateurs de graver les substrats à un angle désiré. En outre, l'unité contient un pistolet à plasma en argon de puissance 400MW, qui permet en outre une gravure de précision et empêche les dommages collatéraux aux plaquettes semi-conductrices. La haute précision de la machine de gravure TEGAL 903 E est également assurée par sa capacité à contrôler l'outil à 500-1000W de puissance, et sa chambre à vide haute à un étage. La chambre est capable d'atteindre des niveaux de vide de 10-7 Torr, ce qui permet une vitesse de gravure et une répétabilité supérieures. En outre, 903E comprend un gestionnaire de charge de travail automatisé, qui assure l'automatisation du contrôle des actifs et permet la mise en réseau avec d'autres systèmes. Cela permet d'exécuter plusieurs programmes simultanément dans différentes chambres du modèle. 903 E comporte également un certain nombre de dispositifs de sécurité pour assurer la sécurité des opérateurs et de l'environnement. L'équipement est équipé d'un système stabilisateur de gaz, qui permet un contrôle précis des gaz de gravure. Il comprend également un interrupteur d'arrêt d'urgence, qui fonctionne si une surpression ou une température extrême est détectée. TEGAL 903E etcher est une unité de gravure extrêmement polyvalente et précise, adaptée à un large éventail d'applications dans les milieux de la recherche et de l'industrie. Sa multitude de caractéristiques et de caractéristiques de sécurité le rendent adapté à une variété de besoins de gravure différents.
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