Occasion TEGAL 903E #293766667 à vendre en France

TEGAL 903E est un outil de gravure/ashing avancé conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, MEMS et nanotechnologies. Il est capable de gravures ioniques réactives (RIE) à plusieurs étapes et de gravures chimiques par voie humide (WCE). L'équipement est équipé d'une alimentation haute tension, d'un générateur de plasma et d'une chambre de gravure à longue durée de vie. Les puissantes caractéristiques de TEGAL 903 E permettent des applications de gravure avancées avec des rapports d'aspect critiques, des taux de gravure élevés, des taux de gravure anisotrope par voie humide et des techniques de dopage avancées. La chambre à vide 903E a une pression interne maximale de 1,5 mBar et un volume global de 120 litres. Il peut accueillir jusqu'à 12 plaquettes simultanément et il est équipé d'un générateur spécial de plasma bi-mode DC/RF qui assure un contrôle précis du processus de gravure. La conduite de distribution du gaz du système peut être utilisée dans un large éventail de procédés de gravure, comme la gravure par poudre, la pulvérisation par pulvérisation réactive, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et la gravure ionique réactive (RIE). 903 E est conçu pour une utilisation à long terme et la fiabilité. La chambre à longue durée de vie est faite d'une construction entièrement métallique, ce qui garantit des résultats de gravure supérieurs. La ligne de distribution de gaz spécialement conçue utilise des technologies de pointe telles que des injecteurs de poudre, des contrôleurs de soupapes, plusieurs fentes de bouteilles de gaz et des soupapes d'arrêt anti-explosion. TEGAL 903E offre un contrôle de température intégré et une détection précise du point final pour un contrôle précis du processus. L'unité est compatible avec une large gamme de porte-plaquettes, y compris les palettes en acier inoxydable et les porte-plaquettes en céramique. La machine est également équipée d'un logiciel de contrôle de gravure de haute précision, le TEGATEM, qui peut être utilisé pour affiner les paramètres du processus de gravure. L'outil est équipé d'un atout de sécurité sécurisé et convivial et comprend une variété de fonctions de sécurité, telles que les antibrouillards, les vannes d'arrêt de la sécurité du gaz, les capacités d'arrêt de la télécommande et la capacité de contrôler le graveur depuis un endroit éloigné. TEGAL 903 E est conçu pour répondre aux exigences des procédés de gravure spécialisés dans les applications complexes MEMS et nanotechnologies. C'est un outil idéal pour un large éventail de besoins de gravure.