Occasion TEGAL 903E #293828282 à vendre en France

TEGAL 903E est un graveur ou un asher conçu pour des applications de dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) enrichi par plasma. Cet équipement est capable de créer des modèles de ratio d'aspect élevé avec des performances supérieures dans une large gamme de processus. TEGAL 903 E est conçu pour un contrôle plasma précis et peut réaliser une couche de dépôt précise avec un motif de rapport d'aspect élevé. La technologie en 903E lui permet d'obtenir des résultats de gravure supérieurs sur une large gamme de pressions. Il comprend un système d'auto-alignement, un système de distribution de plasma précis et une ingénierie de commande précise basée sur le modèle. L'unité utilise sa technologie de plasma à haute énergie pour générer un plasma dense, uniforme et très énergétique pour ses processus de gravure. Il en résulte des modèles de ratio d'aspect élevé avec une vitesse de percée, une précision de surface et une uniformité de gravure plus grande. En plus de fournir une gravure plasma haute performance, 903 E est également une machine très efficace. Il utilise sa technologie MASCOT (Mixed Aspect Ratio Control and Optimization Technology) qui contribue à réduire la consommation de matériaux et le temps de cycle. Cette technologie permet un dépôt de haute précision, ainsi qu'un blindage des matériaux inutiles hors du substrat. TEGAL 903E comprend également un outil breveté de terminaison laser qui prévient la condensation des gaz de procédé et les dommages dus à la contrainte thermique. Cet atout permet au modèle de créer rapidement et avec précision un modèle de ratio d'aspect bien défini et élevé. TEGAL 903 E offre également des capacités de métrologie avancées incluant l'acquisition d'images haute résolution, la surveillance en temps réel, la répétabilité des motifs et le contrôle de faible endurance. Ces caractéristiques intégrées permettent à l'équipement de régler rapidement des paramètres tels que la température, la pression, le timing et la vitesse de gravure. En outre, 903E est conçu pour la sécurité et le respect des normes de sécurité mondiales. Il dispose d'un système d'exploitation hautement sécurisé qui dispose d'un accès protégé par mot de passe, ainsi que de fonctions d'arrêt automatique et d'autocontrôle avancées. En conclusion, le 903 E est un graveur avancé conçu pour des applications de gravure et de dépôt de plasma à haute performance. Il offre des performances supérieures sur une large gamme de processus et est efficace grâce à sa technologie MASCOT. En outre, il dispose de capacités de métrologie avancées, unité de terminaison laser, et est également conçu avec la sécurité dans l'esprit.