Occasion TEGAL 903E #33638 à vendre en France

TEGAL 903E est un équipement asher/etcher conçu pour graver, traiter et déposer des couches minces avec précision et efficacité sur divers matériaux et substrats, dont le silicium, le saphir, le nitrure de silicium et l'oxyde de silicium. La première étape du procédé de gravure et de traitement est le pré-traitement du substrat. C'est ce que fait la station pré-humide qui utilise quatre solvants et filtres de nettoyage pour éliminer les contaminants du substrat avant la gravure. Le substrat est ensuite chargé sur la plaque de préchauffage. TEGAL 903 E a une source de gravure superlinéaire appelée E-Beam pour graver des motifs de couches minces. Cette source produit une gravure fortement anisotrope du substrat et conserve des tailles de caractéristiques critiques et des caractéristiques électriques. 903E utilise un outil propriétaire LLA™ Source pour déposer des films minces sur le substrat et les lier avec un adhésif. Ce procédé de dépôt assure la qualité uniforme et constante du produit fini. Le procédé de gravure/dépôt est un système de commande en boucle fermée pour optimiser l'uniformité du dépôt de film. Il peut être réglé en temps réel pour contrôler des paramètres tels que le temps, la vitesse et la pression, tout en fournissant le plus haut niveau de précision. 903 E est livré avec une gamme de caractéristiques de sécurité et a été conçu pour protéger les travailleurs contre les blessures. L'unité de commande utilise des mécanismes d'arrêt de sécurité pour éviter les surcharges et le surchauffe. La machine est livrée avec une machine d'alarme incendie intégrée et est équipée de boîtiers anti-explosion. TEGAL 903E est une machine efficace et fiable pour la gravure et le traitement de divers substrats et couches minces. Son outil de contrôle en boucle fermée permet un processus de gravure/dépôt répétable et contrôlé avec précision, tandis que ses caractéristiques de sécurité assurent le plus haut niveau de protection aux opérateurs.