Occasion TEGAL 903E #9004065 à vendre en France

TEGAL 903E est un équipement de gravure spécialement conçu pour la production de photolithographie submicronique. Avec sa capacité de plaquette de 6 pouces et une gamme complète de caractéristiques, TEGAL 903 E est un choix idéal pour les exigences lithographiques avancées. 903E dispose d'un design modulaire robuste, avec un système de formation d'image haute résolution et un étage XY dédié de haute précision. L'étape XY déplace la plaquette par étapes discrètes, permettant la gravure de haute précision des photomasques, des masques gris et des tableaux de complexité arbitraire. 903 E peut graver avec une variété de milieux, y compris le silicium, le chrome, le tungstène et l'or, ainsi que les photopolymères utilisés pour la photorésist négative. Le procédé peut être accordé sur l'épaisseur spécifique de la couche et l'orientation cristallographique de la structure désirée. De plus, l'unité peut être configurée pour inclure un certain nombre de procédés à base de plasma, tels que le dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) amélioré par plasma. TEGAL 903E est équipé d'outils puissants d'analyse et de manipulation des données. Cela permet aux utilisateurs de comparer les résultats de gravure en temps réel et de soutenir le développement de procédures de fabrication personnalisées. Une grande variété d'images peut être affichée en temps réel sur le moniteur de la machine, et des réglages précis de l'orientation et de la répétabilité des motifs peuvent être effectués facilement. TEGAL 903 E est très fiable, avec une vitesse de traitement de 25 ppm et un besoin réduit de maintenance. Il est équipé d'un outil de verrouillage de sécurité et de fonctions de surveillance de l'environnement pour assurer le plus haut degré de sécurité pour l'utilisateur et la machine. Enfin, 903E est livré avec une suite de logiciels conviviaux, offrant aux utilisateurs un contrôle intuitif des fonctions de l'actif. Avec son large éventail de caractéristiques, la 903 E est un excellent choix pour toute application lithographique avancée.