Occasion TEGAL 903E #9250125 à vendre en France

TEGAL 903E est un équipement de gravure et d'ashing spécialement conçu pour la production de composants MEMS avancés. Il s'agit d'un système automatisé de gravure et de cueillette avec des composants tels qu'une station de charge/déchargement, une chambre de gravure et plusieurs cassettes de plaquettes, chacune avec une unité de contrôle et de contrôle de la température. L'unité est conçue pour traiter une large gamme de tailles de substrat, et est compatible avec les opérations autonomes et multi-cassettes. Il est capable d'effectuer à la fois des opérations de rinçage humide et de gravures sèches et des opérations de cendrage, avec une précision inférieure à 0,5 microns. L'automatisation du processus permet un débit plus élevé, avec une répétabilité jusqu'à 4 microns. La machine est conçue pour produire des résultats fiables avec un minimum de manutention manuelle. Son outil avancé de contrôle et de surveillance de la température assure des réglages de température optimaux pour le processus de gravure. Sa gigue de faible taille assure également un faible taux de contamination lors des processus de gravure et de cueillette. Il permet également une profondeur de gravure constante avec uniformité à travers le substrat. L'actif comprend également plusieurs caractéristiques de sécurité telles que des alarmes automatiques en cas de températures trop basses ou élevées, et plusieurs réglages de vide qui peuvent être ajustés pour différents processus. En outre, il a une fonction anti-glace facilement disponible permettant un traitement rapide et sûr. TEGAL 903 E a une large gamme d'applications. Il peut être utilisé dans la production de composants micro-électroniques, de modules MEMS, ainsi que de composants électroniques et nano-électroniques. Il offre des protocoles pour une variété de processus de gravure et de cendre comme CVD, gravure, gravure sèche et cendre sèche. Pour ses caractéristiques et applications, 903E est un modèle de gravure et d'ashing fiable et polyvalent. Avec sa précision, son débit élevé et sa capacité d'automatisation, il est adapté à un large éventail d'applications industrielles et de recherche.