Occasion TEGAL 903E #9269138 à vendre en France

TEGAL 903E
Fabricant
TEGAL
Modèle
903E
ID: 9269138
Taille de la plaquette: 6"
Etcher, 6".
TEGAL 903E est un graveur/asher plasma avancé. C'est un graveur/asher réactif avancé, qui est utilisé pour créer des coupes et des motifs sur plusieurs couches et surfaces. En outre, TEGAL 903 E est un graveur/asher très efficace, capable de fournir des distances ultra-courtes entre les coupes, permettant des gravures et des gravures extrêmement précises. Lors de l'utilisation de 903E, la chambre réactive est remplie d'un mélange gazeux approprié - généralement un gaz réactionnel à basse pression contenant du tétrafluorure de carbone ou de l'oxygène. Une fois la chambre remplie et la pression régulée, l'graveur-asher est mis en marche et le gaz réactif est introduit dans la chambre de gravure. A ce stade, une concentration contrôlée d'ions est émoussée sur la surface de l'échantillon, ce qui permet une gravure et une gravure extrêmement précises. Le temps de gravure peut être modifié pour répondre aux besoins de l'utilisateur et la concentration ionique peut varier pour différentes caractéristiques de gravure. L'échantillon est exposé à une lumière fluorescente pour déclencher une réaction de gravure médiée par le plasma. Au cours de ce processus, les ions réagissent avec le matériau de l'échantillon, éliminant rapidement le matériau de la surface de l'échantillon. Ce processus est répété tout au long du cycle de gravure, jusqu'à ce que le motif désiré soit atteint. Le processus de gravure est contrôlé par une interface logicielle informatique afin d'assurer des caractéristiques de gravure précises et reproductibles. Afin de maintenir ses capacités de haute performance, la 903 E est conçue avec une plaque chauffante à haute température dans la chambre de gravure. Ceci permet de maintenir une plage de température optimale et de maintenir le gaz dans son état réactif. De plus, TEGAL 903E utilise également un bras de commande orienté horizontalement, permettant un contrôle précis et séparé des ions réactifs et de l'échantillon. TEGAL 903 E est un graveur/asher polyvalent et performant, capable de créer des motifs précis et complexes sur de nombreuses surfaces différentes. Ses caractéristiques offrent aux utilisateurs un moyen fiable, cohérent et rentable de créer des gravures complexes.
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