Occasion TEGAL 903E #9374755 à vendre en France

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Fabricant
TEGAL
Modèle
903E
ID: 9374755
Taille de la plaquette: 5"
Etchers, 5".
TEGAL 903E est un graveur/asher spécialement conçu pour le traitement des semi-conducteurs. Il s'agit d'un évaporateur thermique (ou équipement d'évaporation) qui utilise un canon à faisceau d'électrons pour évaporer des couches de résistance et de métallisation sur la surface d'une plaquette semi-conductrice. TEGAL 903 E est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre et a un débit maximum de 60 pièces par heure. Il est équipé d'une capacité de focalisation automatique, d'une protection sur-courant et d'une température de creuset réglable afin d'assurer des résultats optimaux et cohérents. 903E est positionné pour être une solution économique et fiable pour répondre à la demande croissante pour un traitement plus intégré et efficace des dispositifs semi-conducteurs complexes. Il possède un certain nombre de caractéristiques qui le rendent attrayant pour l'industrie des semi-conducteurs, y compris un système de mouvement de haute précision, une unité de commande étroitement couplée et une capacité exceptionnelle pour un contrôle de processus serré. La machine est également conçue pour une intégration facile avec les systèmes de traitement des plaquettes existants en offrant un contrôle direct d'autres paramètres et composants essentiels du processus tels que la température et la pression. L'outil est conçu pour permettre une évaporation rapide et précise de l'aluminium et du titane ainsi que d'autres alliages et métaux d'une épaisseur de 1 à 1000 nanomètres. Le canon à faisceau d'électrons millijoule utilisé en 903 E permet un dépôt précis et efficace. En outre, l'actif comporte deux manipulateurs de substrat dédiés pour le transfert de substrats et un contrôle supérieur des positions de substrat. TEGAL 903E dispose également d'une gamme de fonctionnalités conviviales telles qu'une interface utilisateur graphique, un logiciel puissant, un étalonnage automatique et un modèle d'autodiagnostic. L'interface conviviale permet aux opérateurs de configurer et de surveiller facilement le processus de gravure. En outre, l'équipement dispose de capacités de surveillance et de contrôle à distance pour permettre un fonctionnement rapide et optimisé. TEGAL 903 E est idéal pour les clients qui ont besoin d'un traitement haute performance des substrats semi-conducteurs avec un contrôle de processus serré. Il convient à la fois aux procédés de production par lots et en continu et est capable de traiter des substrats de tailles et d'épaisseurs variables. L'unité de mouvement de haute précision du système et la machine de contrôle étroitement couplée assurent un niveau exceptionnel de précision et de contrôle des processus avec un minimum de contaminations. 903E est un graveur/asher fiable et rentable pour les procédés avancés dans l'industrie des semi-conducteurs.
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