Occasion TEGAL 903E #9394684 à vendre en France

TEGAL 903E est un graveur/asher de pointe spécialement conçu pour la production de dispositifs semi-conducteurs et photomasques de haute qualité, offrant une fiabilité et des performances supérieures dans de nombreuses applications de gravure. Il est équipé de nombreuses fonctionnalités avancées qui assurent un traitement efficace, fiable et précis à chaque fois. TEGAL 903 E est capable d'effectuer une gravure profonde et haute résolution sur une variété de matériaux, y compris les plaquettes de silicium, la céramique, les métaux et les verres. Il dispose d'une grande chambre de travail et est équipé d'un post-brûleur pour gérer la poussière et les particules. La conception unique de la buse linéaire 903E garantit une gravure efficace et de haute qualité qui peut créer des caractéristiques avec une largeur et une profondeur uniformes. 903 E dispose d'une livraison programmable d'acide sulfurique pour la gravure automatisée et précalibrée, fournissant un contrôle précis et des résultats uniformes à chaque fois. Son équipement de livraison à atmosphère inerte permet d'éliminer le contact entre le matériau et le graveur. Ceci élimine le risque de contamination et de dommages causés par la réaction d'etchant avec la surface du substrat. TEGAL 903E est conçu à partir du sol pour répondre aux exigences les plus élevées dans les applications de gravure et de cendrage, avec des caractéristiques telles qu'une vitesse de traitement rapide à modérée, l'intégration configurable de divers gaz de processus, la capacité de gravure ionique réactive et le support de gravure arrière. Il est capable de préserver l'intégrité des matériaux lors de la gravure, même à haute température et permet également un contrôle précis de paramètres tels que la température, la pression et le débit. TEGAL 903 E est un graveur/asher tout-en-un, avec une interface utilisateur intuitive et des capacités de surveillance étendues pour assurer la qualité du processus de gravure. Il est capable de multiples méthodes de détection et de localisation, avec un choix de plusieurs systèmes de vision et de capture d'image. La machine est également livrée avec des fonctions de contrôle automatique du processus pour assurer la compatibilité du substrat et du graveur, ainsi que des processus automatiques pour arrêter l'graveur/asher dans des conditions indésirables. 903E est conçu pour fonctionner avec une grande variété de milieux, tels que le dioxyde de carbone, le dioxyde de soufre et l'oxyde nitreux, à une température de fonctionnement allant de 250 à 650 degrés Celsius. Le système est équipé d'un régulateur de température, qui surveille le processus pour maintenir des conditions optimales. Il dispose également d'une unité de sécurité avancée pour une sécurité optimale sur le lieu de travail. 903 E est bien adapté pour une utilisation dans les environnements de production et de recherche. La machine est conçue pour un entretien facile, avec des aperçus d'une machine embarquée qui permet une surveillance étroite et le dépannage. Cet etcher/asher est également équipé d'un certain nombre de protocoles et de garanties sophistiqués pour assurer l'intégrité des données recueillies et assurer la sécurité des processus. TEGAL 903E est une solution idéale pour les applications de gravure et d'ashing, offrant une fiabilité et une précision inégalées dans une solution tout-en-un. Ses multiples fonctionnalités et son outil de sécurité avancé garantissent des résultats cohérents et de haute qualité pour une grande variété de matériaux de substrat.