Occasion TEGAL 905 #163758 à vendre en France

TEGAL 905 est un graveur-cendrier, un équipement utilisé pour la gravure à sec et le cendrage dans la production de circuits intégrés (IC). C'est un outil qui utilise un équipement multi-processus de livraison de gaz pour permettre un processus de gravure et de cueillette efficace et répétable. L'outil dispose d'une capacité de plaquette unique de 8 "dans une plate-forme ultra-compacte, conçue pour réduire l'empreinte et optimiser l'efficacité de l'espace de travail en salle blanche. 905 dispose d'un contrôleur de processus entièrement intégré pour fournir un processus cohérent et répétable, avec une résolution de temps de milliseconde. Sa technologie avancée de contrôle des procédés augmente la précision de gravure en permettant l'ajustement des paramètres des procédés lors des opérations plasma. Son système de distribution de gaz permet un contrôle indépendant des gaz, permettant aux utilisateurs de choisir un mélange optimal de gaz pour chaque processus de gravure. TEGAL 905 dispose également d'une cassette de distribution intégrée, ce qui réduit le temps nécessaire pour commuter les plaquettes entre les processus et augmente considérablement le débit. Ses positions de cassette programmables permettent aux utilisateurs d'ajuster le timing des processus de gravure et de cendres pour maximiser la productivité et la qualité. De plus, la détection de cellules Opto de l'outil assure qu'une seule plaquette est traitée à la fois, minimisant la contamination. La 905 comprend également une unité de sécurité avancée qui permet des opérations sécuritaires et un temps de mise à jour maximal. Sa machine de sécurité à trois niveaux comprend un outil d'interception des classes 1 et 2, une soupape de surpression sensible à la pression et une soupape en céramique sensible à la pression. Des pompes de purge et des systèmes d'échappement sont également disponibles en option pour garder la chambre propre et exempte de contaminants. Avec sa technologie avancée de contrôle des processus et ses caractéristiques de sécurité, TEGAL 905 est un outil idéal pour des besoins de production de haute précision. Sa petite taille, sa vitesse de traitement rapide et son atout intégré de livraison de gaz offrent une solution très efficace et économique pour les fabricants d'IC.