Occasion TEGAL 905 #293827391 à vendre en France

TEGAL 905 est un équipement de pointe conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. C'est un outil très polyvalent qui facilite l'enlèvement précis des matériaux et le traitement de surface dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Cet outil est largement utilisé dans diverses applications telles que le décapage de photorésist, le descumming, la gravure plasma, le nettoyage de surface et la modification des matériaux. Le système 905 etcher/asher est doté d'une construction robuste et d'une conception innovante qui garantit une haute performance, fiabilité et répétabilité dans le traitement des semi-conducteurs. L'unité comprend une chambre de verrouillage de charge, une chambre de traitement, une machine de distribution de gaz, des alimentations RF, un outil de contrôle de la température, des pompes à vide et des moyens de contrôle avancés. Ces composants travaillent en tandem pour fournir des résultats de traitement précis et uniformes tout en maintenant un haut niveau de contrôle et d'automatisation des processus. Une des caractéristiques clés du modèle TEGAL 905 est sa polyvalence des processus. L'équipement prend en charge une vaste gamme de produits chimiques de gravure, y compris les gaz à base de fluor, de chlore, d'oxygène et de spécialités, ce qui permet de personnaliser les recettes de gravure en fonction des besoins spécifiques des matériaux. Cette flexibilité permet au système de graver différents types de matériaux tels que le silicium, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium, les métaux et les diélectriques avec une grande sélectivité et précision. L'unité 905 est équipée de techniques avancées de production de plasma, y compris le couplage capacitif, le couplage inductif et les sources de plasma à distance, afin d'obtenir une génération de plasma efficace et uniforme dans toute la chambre de procédé. Ces sources plasmatiques assurent un haut degré d'uniformité de gravure et de contrôle sur les paramètres du processus, tels que l'énergie ionique, la densité ionique et la vitesse de gravure, conduisant à une excellente répétabilité et fiabilité du processus. En outre, la machine TEGAL 905 dispose d'un outil de distribution de gaz sophistiqué qui permet un contrôle précis des débits de gaz, des pressions et des compositions pendant le processus de gravure. L'actif est équipé de régulateurs de débit massique, de régulateurs de pression et de capacités de mélange de gaz pour créer des atmosphères de gravure personnalisées adaptées aux exigences spécifiques du processus. Ce contrôle fin des gaz de procédé permet d'optimiser les performances de gravure et d'éliminer les défauts induits par le procédé. De plus, le modèle 905 est conçu avec des capacités de régulation de température avancées pour maintenir un environnement de processus cohérent tout au long du processus de gravure. L'équipement dispose de mécanismes de chauffage et de refroidissement pour contrôler la température du substrat et la température de la chambre, assurant des conditions de processus optimales pour diverses chimies et matériaux de gravure. Ce système de régulation de température joue un rôle critique pour obtenir des résultats de gravure précis et minimiser les effets thermiques sur les substrats. L'unité TEGAL 905 est également équipée d'une machine à vide sophistiquée qui permet de pomper rapidement et d'éliminer efficacement les sous-produits de procédé et les contaminants de la chambre de procédé. L'outil dispose de pompes turbomoléculaires de grande capacité, de pompes à rugosité, de jauges à vide et de capteurs de pression pour créer et maintenir un environnement de vide propre et stable pendant le processus de gravure. Cet actif sous vide assure une grande pureté du procédé, minimise la contamination des particules et améliore la répétabilité et le rendement du procédé. En conclusion, le modèle 905 etcher/asher est un outil de pointe pour la fabrication de semi-conducteurs qui offre des capacités de traitement précises, fiables et flexibles pour une large gamme d'applications de gravure et d'ashing. Avec ses techniques avancées de production de plasma, son équipement de distribution de gaz, ses capacités de régulation de la température et son système de vide, TEGAL 905 permet aux fabricants de semi-conducteurs d'obtenir un contrôle de procédé, une uniformité et des performances supérieures dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération.