Occasion TEGAL 915 #158859 à vendre en France

TEGAL 915 est un graveur/asher fabriqué par TEGAL Corporation, un leader mondial dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs. Ce graveur/asher est utilisé dans la fabrication de MEMS et de semi-conducteurs et est conçu pour offrir des performances et une évolutivité supérieures grâce à un traitement efficace et rentable. 915 est un graveur/asher multi-chambres avec une disposition optimisée à une seule chambre. Il dispose d'un procédé de gravure/cendres combiné, permettant aux utilisateurs de graver et nettoyer simultanément le substrat dans la même chambre. Il a une capacité de débit élevée et peut traiter jusqu'à 130 substrats pour chaque cycle de gravure. Le TEGAL 915 est alimenté par un équipement de pulvérisation magnétron à courant continu haute puissance et haute densité, et comprend également un système de transport de charge/déchargement avancé pour améliorer le débit. Le procédé gravure/cendres utilise une combinaison de procédés plasma haute densité, pré-gravure et post-cendres, ce qui donne des taux de gravure supérieurs et d'excellents résultats. Sa conception multi-chambres est optimisée pour permettre la fonction Punch de précision, ce qui donne une définition de bord supérieure des caractéristiques. 915 dispose de diagnostics in situ haut de gamme et est conçu pour compenser automatiquement les défauts, minimiser les défauts et optimiser les performances du processus. Il est conçu pour activer Virtual Endpoint pour un contrôle et une répétabilité optimaux des processus. Il comprend également Cool Chamber pour un contrôle précis de la température de la chambre. En outre, TEGAL 915 comprend une gamme de caractéristiques de sécurité, telles qu'un dispositif d'interception de sécurité et une capacité d'inertage chimique. Sa machine d'obturation avancée assure que le substrat n'est pas exposé au plasma ou au graveur tant que le substrat n'est pas maintenu de façon sûre dans la chambre. En outre, 915 dispose d'une gamme de fonctionnalités de personnalisation, telles que le stockage de recettes multiples et des outils d'optimisation facile. Il est conçu pour être facile à utiliser, avec une interface dynamique et des capacités de télécommande, ce qui le rend idéal pour la surveillance à distance et le contrôle des processus. TEGAL 915 est conçu pour offrir des performances et une évolutivité exceptionnelles grâce à un traitement efficace et rentable, ce qui en fait un choix idéal pour les besoins actuels de production de semi-conducteurs.