Occasion TEGAL 915 #84339 à vendre en France

TEGAL 915 est un graveur/asher connu pour ses capacités de modélisation et d'imagerie très précises. L'outil utilise la technologie des faisceaux focalisés de précision pour la création de circuits localisés, et les serrures automatisées intégrées pour la mise en place rapide de l'outil. Il est également livré avec Probe Station et Lamination Equipment avec adaptation en option des systèmes de mesure de substrat. 915 dispose d'une chambre de travail dédiée équipée de murs de construction, de boucliers réglables, de régulateurs de température, de capteurs de température et de systèmes de vide qui aident à maintenir un environnement cohérent pour des performances de gravure et d'imagerie optimales. L'outil contient une tête de balayage très précise avec un mouvement à quatre axes et une gamme complète de capteurs d'imagerie. Il dispose également d'une grande chambre à vide avec une capacité de chargement allant jusqu'à 26 wafers pleine taille ou équivalent. Un système de tuyère remplaçable avec trois tuyères interchangeables (gaz, iodure de gravure/méthylène et injections de carbone) permet de personnaliser et d'optimiser le processus de gravure. La flexibilité globale de TEGAL 915 le rend adapté à une grande variété d'applications et de processus. Sa configuration de cluster utilise des fonctionnalités de partage telles que des chutes de transfert de substrat (STC) communes et des connexions « Zone » pour permettre à plusieurs outils de travailler ensemble pour créer des modèles complexes et complexes. 915 utilise également une unité d'autofocus à faisceau de grappes ionisé avec une précision et une répétabilité supérieures à celles des autres graveurs de sa classe. Divers paramètres réglables de TEGAL 915 tels que la taille du substrat, le type et l'épaisseur de l'échantillon, les rapports d'alimentation en gaz et la plage de pression permettent une plus grande expérimentation et ajustement des processus de gravure. L'outil est encore amélioré avec un cycle de nettoyage semi-automatique intégré pour une productivité et une sécurité maximales. En résumé, 915 est un graveur/asher avancé idéal pour des applications très précises grâce à ses technologies d'imagerie et de faisceau de pointe, une large gamme de paramètres réglables, une configuration flexible des grappes et un cycle de nettoyage automatisé. TEGAL 915 est une machine de gravure tout-en-un, qui en fait un outil extrêmement polyvalent et essentiel pour tout laboratoire ou installation participant à des projets de recherche et de développement.