Occasion TEGAL 915 #9220755 à vendre en France

TEGAL 915 etcher/asher est un procédé de gravure et de cueillette commandé par ordinateur utilisé pour fabriquer des plaquettes semi-conductrices. Il dispose d'un four intégré avec quatre sources de dépôt, trois électrodes de gravure/cueillette rotatives indépendantes et une chambre de traitement automatisée. 915 est conçu avec la technologie OptiPulse™ avancée pour fournir le contrôle précis de gravent à l'eau forte la profondeur et l'uniformité sur la surface entière du substrates. L'équipement est également capable de traiter une variété de matériaux à couches minces, y compris du silicium polycristallin, de l'aluminium, du nickel et du titane. TEGAL 915 est conçu pour assurer une gravure et un cendrage très uniformes. Il utilise une gamme de processus intégrés, tels que le processus ELPCVD (Enhanced LPCVD), pour s'assurer que les profondeurs de gravure et l'uniformité sont contrôlées à l'échelle mondiale. Son système OptiPulse permet une uniformité et une profondeur de gravure précises jusqu'à 1 micron, avec un contrôle de vitesse de gravure réglable pour affiner le profil de gravure. Ses quatre sources de dépôt sont conçues pour fournir des taux de dépôt élevés, une uniformité et un contrôle précis de l'épaisseur des couches minces. Une électrode rotative dédiée est capable de réaliser avec précision des motifs de gravure selon des formes cartographiées par l'utilisateur. La 915 est équipée d'une grande chambre de traitement, capable de traiter jusqu'à 2 pouces de plaquettes épaisses. Une unité de contrôle complète permet la création automatique de recettes personnalisées et un accès facile aux paramètres, permettant aux utilisateurs d'ajuster les processus pour obtenir les meilleurs résultats possibles. Son automatisation flexible permet des déplacements de processus rapides et un débit efficace ; son interface utilisateur graphique conviviale et intensive permet un fonctionnement facile et un rappel de recette. En résumé, TEGAL 915 est livré avec une variété de caractéristiques qui permettent la gravure rapide et uniforme et la cueillette de matériaux en couches minces tels que le silicium polycristallin, l'aluminium, le nickel et le titane. Sa machine OptiPulse assure une profondeur de gravure et une uniformité précises, tandis que ses processus intégrés et ses électrodes tournantes permettent une personnalisation fine et la création et le rappel automatisé de recette. 915 est conçu pour fournir des changements de processus rapides, un débit efficace et une uniformité supérieure.