Occasion TEGAL 965 #293753247 à vendre en France

TEGAL 965 etcher (ou asher) est un outil avancé de gravure et ashing utilisé pour la fabrication de puces semi-conductrices. Il est capable de graver et d'aspirer de grandes surfaces à grande vitesse et avec des résultats supérieurs. La grande zone est divisée en deux parties, une zone de gravure et une zone de cendrage. La machine peut traiter de 5 "à 8" substrats, avec un maximum de 12 "étant recommandé pour les meilleurs résultats. 965 utilise une technologie brevetée de mélange des gaz, permettant une gravure plasma haute densité (HDP), permettant une vitesse de gravure plus rapide avec une meilleure uniformité du plasma, une grande uniformité du plasma propre, et une réduction de la distorsion des plaquettes. Le procédé de gravure utilise un plasma radiofréquence haute fréquence (RF) pour éliminer rapidement et uniformité le matériau, réduisant à la fois le temps de gravure et améliorant les résultats de gravure de base. Le temps de gravure peut être adapté à l'application spécifique, permettant le raccourcissement du cycle et le débit le plus élevé. La gravure traite différents gaz, tels que l'azote ou l'hélium, pour obtenir les résultats souhaités. Des procédés de gravure spécialisés sont disponibles, tels que la gravure ionique réactive, la gravure ionique réactive oxygène, et la gravure photorésist. L'graveur peut également effectuer d'autres procédés tels que le stripping, l'amincissement et la modification post-gravure. Le procédé d'ashing de TEGAL 965 utilise du plasma à base d'oxygène pour éliminer uniformément le matériau de la surface de la plaquette. Le procédé de cendrage HDP est également disponible pour une grande vitesse, une grande uniformité et une haute pureté d'enlèvement des matériaux. Ce procédé est supérieur au procédé traditionnel d'ashing pour les plaquettes sensibles, offrant une meilleure uniformité et pureté des résultats. 965 est un outil de gravure/cueillette fiable et précieux pour la fabrication de plaquettes. Il est facile à configurer et à utiliser, est connu pour sa précision et sa vitesse. Cette combinaison avec la haute qualité et l'uniformité des résultats du processus fait de TEGAL 965 un outil idéal pour une variété d'applications, y compris MEMS, microprocesseurs et communications sans fil. Enfin, la 965 complète fournit un contrôle supérieur sur les processus de gravure et d'ashing, permettant d'obtenir des résultats optimaux également.